Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-853V-8BL2 #9182447 zu verkaufen
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ID: 9182447
Weinlese: 2000
Vertical diffusion furnace
Flat zone aligner with sensor
Wafer counter: M-826
Main controller: Dual hard disk CX-3002B
Exhaust controller: PCU- 3000
PLC Unit: OMRON (CX-1314)
(2) Hard gas pattern GFC panels
(2) Software pattern GFC panels
Heater torch:
UV Sensor
(2) Torch type
Gas unit:
P-N2-1 0.30MPa / 30L/min 1 ¼” UJR
P-N2-2 0.30MPa / 100L/min 1 ¼” UJR
O2 0.20MPa / 21L/min 1 ¼” UJR
H2 0.20MPa / 20L/min 1 ¼” UJR
HCL 0.20MPa / 20L/min 1 ¼” UJR
Air/N2 0.6MPa 1 ¼” UJR
Power:
Heater: 1Φ208V, 50KVA
Control: 1Φ208V, 9KVA
2000 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-853V-8BL2 ist eine Art Diffusionsofen, der speziell für die Grundlagenforschung sowie Halbleiteranwendung entwickelt wurde. Es ist eine leistungsstarke, einstöckige Ofenausrüstung, die die Temperatur bis zu 1300 ° C erhöhen und gleichzeitig eine gleichmäßige thermische Verarbeitung gewährleisten kann. Das System wird hauptsächlich für die Abscheidung, Epitaxie, Glühen, Oxidation und Diffusion verschiedener Materialien, einschließlich Halbleiter, Metalle und Pulver, verwendet. Der Diffusionsofen besteht aus drei Hauptkomponenten: dem Hauptkörper, beladen mit elektronischen und Temperaturregelkomponenten; das Umluftgebläse und die Luftduscheinheit; und die Basisanordnung. Die Haupteinheit besteht aus einem Ofenkörper, einem elektronischen Thermometer, einer rückseitigen Gasheizeinheit und einer Kühlgebläseanordnung. Die Lüfterbaugruppe ermöglicht die effiziente Entfernung von Wärme- und Temperaturschwankungen aus dem Ofen. Der Ofen ist mit einer kreislaufgeschützten Vakuumdichtung ausgestattet, um eine optimale Temperaturregelung zu gewährleisten. Die Umluftventilator- und Luftduschmaschine in HITACHI DD-853V-8BL2 sorgt für eine einheitliche thermische Verarbeitung. Die Einheit besteht aus einem oberen elektrischen Regler-Sub-Regler, einem Rotor-Gebläse-Lüfter und einem dreistufigen Motor. Der Umluftventilator trägt zusammen mit dem integrierten Luftduschwerkzeug dazu bei, eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der Kammer zu erreichen. KOKUSAI DD-853V-8BL2 ist für einfache Bedienung ausgelegt. Der Hauptkörper ist mit einem ergonomischen Design, mit einfach zu bedienenden Bedienfeld, ermöglicht eine einfache Überwachung und Einstellung der Verarbeitungstemperatur konstruiert. DD-853V-8BL2 bietet zuverlässige und leistungsstarke Diffusionsofentechnologie für Laboreinstellungen. Es ist speziell für Grundlagenforschung und Halbleiteranwendungen konzipiert und kann bei gleichmäßiger thermischer Verarbeitung Temperaturen bis zu 1300 ° C erreichen. Die Einheit ist mit einem komfortablen Bedienfeld aufgebaut und ist einfach zu bedienen und zu warten. Dieser Hochleistungs-Diffusionsofen ist ideal für jedes Forschungslabor oder Halbleiter-Produktionsanlage, die Präzisionstemperaturregelung erfordert.
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