Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-853V #293637729 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293637729
Wafergröße: 8
Vertical diffusion furnace, 8"
Flat zone flat zone aligner
M-826 Wafer counter
CT-204S Ionizer
(2) BL-701 Barcode readers
DM-HB1 AGV sensor
CX-3002B Main controller
PCU-3000 / EC-5202 Exhaust controller
OMRON (CX-1314) PLC Unit
CX-1223 Mecha controller
CX-3202 MFC controller
CQ-1600 Temp controller
DN-150A Gate controller
CX-1317 Torch controller
D4EX05486 Heater transformer
(2) Hard Gas Pattern GFC Panels
Lamp torch
UV Sensor torch
SUS-316L Flange
SUS-316L Cooling flange
SUS-316L Seal cap
SUS-304 Cap base
Teflon Teflon cusion
SUS-304 Cool trap
Acrylic trap drain trap
SUS-304 Auto shutter
SUS-304 Scavenger cover
Teflon exhaust line assy exhaust line
SUS-316L EP Reactor gas line set
Mass Flow Controller (MFC)
MFC No / Gas / Full scale / Unit
MFC 1 / N2-1 / 30.000 / SLM
MFC 2 / O2-1 / 20.000 / SLM
MFC 3 / O2-2 / 0.600 / SLM
MFC 4 / H2 / 20.000 / SLM
MFC 5 / HCL / 0.500 / SLM.
HITACHI/KOKUSAI DD-853V ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und dazugehöriges Zubehör für den industriellen Einsatz. Es handelt sich um einen kompakten, vertikal angeordneten Ofen mit einem Temperaturbereich von 500-1200 ° C und einer programmierbaren Maximaltemperatur von 1150 ° C. Dieser zuverlässige und stabile Ofen ist speziell für hohe Durchsätze, niedrige Kosten und eine präzise thermische Verarbeitung ausgelegt. HITACHI DD-853V verfügt über eine Graphitofenauskleidung und eine keramisch isolierte Reaktantenzone. Es verwendet eine vertikale Heizstruktur mit drei gleichmäßig beabstandeten Hochleistungsausgabezonen. Dies ermöglicht eine präzise verteilte Temperaturregelung und eine gleichmäßige thermische Verarbeitung. Seine fortschrittliche Kammerausführung sorgt für eine gleichmäßige Feinverteilung des Reaktantgases innerhalb der Keramikkammer, was zu einer hohen Prozesseffizienz führt. Der Ofen verfügt zudem über ein einfach zu bedienendes, hochauflösendes Touchpanel-Monitor- und Steuergerät, das den aktuellen Prozesszustand, Betriebsparameter und Reaktantgasdurchfluss anzeigt. Es verfügt auch über ein zuverlässiges, modernes Steuerungssystem und kommt mit Temperatur-, Prozess- und Antwortsteuerungssoftware. Dieses Steuergerät ermöglicht eine genaue Prozesseinrichtung und -steuerung. Darüber hinaus umfasst KOKUSAI DD-853V automatisierte Spulentransport- und Abgasleitungslösungen, um Hochgeschwindigkeits- und Zykluszeitverkürzungen zu ermöglichen. Das vorkonditionierte materialspezifische Spulentransportmerkmal, das von der Steuerungsmaschine aus aktiviert werden kann, minimiert den Überschussverbrauch und sorgt für eine gleichbleibende Prozesswiederholbarkeit. Die Abgasleitungslösungen reduzieren zudem Luftverschmutzung und Dotierstoffverlust und sparen gleichzeitig Energie und Ressourcen während des Betriebs. Um einen zuverlässigen Betrieb und eine erhöhte Benutzersicherheit zu gewährleisten, ist DD-853V mit Sicherheitsventilen, Gaseinlassabschaltung, Temperaturüberschussverhinderung und automatischer Überdruckentlastung ausgestattet. Diese Garantien sorgen weiter für konsistente, wiederholbare Prozesse und Anwendersicherheit. Abschließend ist HITACHI/KOKUSAI DD-853V ein hochwertiger Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör, das eine zuverlässige Prozesswiederholbarkeit und konsistente Ergebnisse liefert. Sein modernes Kammerdesign, leicht navigierbares Touchpanel-Monitor und Steuerungswerkzeug, automatisierte Spulentransport- und Abgasleitungslösungen und ausgeklügelte Sicherheits- und Überdruckfreigabefunktionen machen es zu einem unschätzbaren Kapital für hohen Durchsatz, niedrige Kosten, präzise thermische Verarbeitung.
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