Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF #293630231 zu verkaufen

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V-DF Diffusionsofen ist ein fortschrittlicher, multifunktionaler Diffusionsofen für den Einsatz in einer Vielzahl von Branchen. Es ist für eine Vielzahl von Prozessanwendungen konzipiert, einschließlich Halbleiter-, LED und Dünnschichtabscheidungsprozesse. Das Gerät verfügt über einen großen, einstellbaren Temperaturregelbereich von bis zu 1250 ° C, mit überlegener Gleichmäßigkeit und ist in der Lage, bis zu 4-Zoll-Wafer zu verarbeiten. Es wurde entwickelt, um extrem energieeffizient mit einer niedrigen 20kW Leistung, die Energieeinsparung zu gewährleisten. Der Ofen ist mit zahlreichen einzigartigen Eigenschaften ausgestattet, die es ermöglichen, höhere Leistungsstufen zu erreichen. Es ist in der Lage, automatischen Waferaustausch und Endpunktsteuerung, so dass die volle Kontrolle über den gesamten Prozess. Es verfügt auch über eine kühle Prozesskammer, die Temperatur Gleichmäßigkeit gewährleistet und reduziert Prozess Thermal Budget durch die Steuerung der Betriebstemperatur und die Einhaltung der Temperatur Konsistenz. Darüber hinaus enthält es ein optisches Emissionsüberwachungssystem, das wichtige Prozessparameter misst und Rückmeldungen wie Gaszusammensetzung und Glimmentladungsmessung liefert. Das Gerät enthält auch integrierte Sauerstoff-Injektionseinheit (OIS), um den Kammerbetrieb zu verbessern, indem eine genaue Menge an Sauerstoff in die Kammer geliefert wird, wodurch der Benutzer die Prozessumgebung besser steuern kann. OIS hilft auch, Oxidation zu reduzieren und die Kammer sauber zu halten. Darüber hinaus umfasst der Ofen einen Sichtanschluss und ein Reinigungswerkzeug für eine bequeme Probenbeobachtung und einen Zugang zur Wartung. Es verfügt auch über eine vollständige SCADA-Steuerung, um eine präzise, wiederholbare Prozesssteuerung und einen hochzuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Mit dem integrierten Datenaufzeichnungsgerät können wertvolle Prozessdaten einfach erfasst und überwacht werden. HITACHI DJ-1206V-DF Diffusionsofen ist eine kompakte und zuverlässige Diffusionslösung, perfekt für Halbleiter-, LED und Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Mit seinem großen Temperaturbereich, der präzisen Temperaturgleichförmigkeit, der niedrigen Leistung und vielen anderen nützlichen Funktionen wurde es entwickelt, um Ihre Prozessoptimierung einfach und kostengünstig zu gestalten.