Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF #9251678 zu verkaufen

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V-DF ist ein Diffusionsofen für die Verarbeitung von Halbleiterbauelementen. Es handelt sich um einen Niederdruck-Chemikaliendampfofen (LPCVD), der Hochtemperaturreaktionsprozesse von bis zu 1000 ° C durchführen kann. Diese hohe thermische Verarbeitungstemperatur macht HITACHI DJ-1206V-DF ein vielseitiges Werkzeug für Anwendungen von Glühen bis zur Oxidation, Nitridierung und sogar Siliziumepitaxie. Der Diffusionsofen und das Zubehör werden in einer einzigen Einheit geliefert, was eine einfache Installation und Bedienung ermöglicht. Es verfügt über eine LPCVD-Kammer mit einem Quarz-Viewport mit 3 ″ Durchmesser für eine saubere Inline-Sicht sowohl des Prozesses als auch der Probe. Das Gerät wird auch mit einem Quad-Zone-Regler geliefert, der eine präzise Temperaturregelung innerhalb jeder bestimmten Prozesszone ermöglicht. Der Regler ist mit einer Verbrennungsgasauswahleinrichtung, einem ultraempfindlichen Pyrometer und einem Quarzprobenahmerohr zur Echtzeit-Rückkopplung von Temperatur und anderen prozessbezogenen Messwerten integriert. Der Diffusionsofen ist mit einem exklusiven Drift-Control-System ausgelegt, das eine präzise Temperaturregelung in jeder Zone gewährleistet. Dies gewährleistet Temperaturstabilität und Genauigkeit auf allen Ebenen und über alle Prozesse hinweg. Die Einheit bietet auch Prozessflexibilität, die die Erstellung komplexer Schichtstrukturen ermöglicht. Alle diese Funktionen gewährleisten einen wiederholbaren und zuverlässigen Prozess. Für zusätzliche Sicherheit verfügt das Gerät über eine hochmoderne Neun-Punkte-Schutzeinheit. Diese Sicherheitsmaschine überwacht Gasfluss, Druck, Temperatur und Kammerinhalt, um die Fertigungsumgebung zu schützen. Zusätzlich wird ein Wärmedämmdeckel hinzugefügt, um den Energieverbrauch zu reduzieren und den Geräuschpegel zu minimieren. Für zusätzlichen Komfort, der Diffusionsofen kommt mit einer breiten Palette von Zubehör. Dazu gehört ein 360-Grad-Material-Pick-up-Arm, der einen vollständigen Zugang zur Probe in allen Prozesszonen ermöglicht. Es enthält auch eine Spülstation zur Verringerung des Oxidationsrisikos und eine Mehrzonenkalibrierstation zur Temperaturgenauigkeitsprüfung. Schließlich wird das Gerät über ein computerintegriertes Software-Tool gesteuert, das maximale Kontrolle und Flexibilität ermöglicht. KOKUSAI DJ-1206V-DF Diffusionsofen ist ein fortschrittliches Gerät, das für optimale Leistungen, Präzisionskontrolle und erhöhte Sicherheit entwickelt wurde. Die breite Palette an Zubehör ermöglicht es, hochspezialisierte Prozesse schnell und einfach durchzuführen. Diese hochmoderne Einheit eignet sich perfekt für alle Anforderungen an die Verarbeitung von Halbleiterbauelementen.