Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-CX5 #9233610 zu verkaufen
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ID: 9233610
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
System, 12"
Process: Zro
Front body
Main body
Front upper
Heater
Power box
Blower box
GMP Box
Source box
O3 Generator
Killer box
N2 Purifier
IGS Box
Vacuum line
N2 Purge box
Heater exhaust
Damper frame
Main upper
Heater upper
(5) Boxes
(120) Process wafers
I/O Port / SMIF: FOUP
Load Lock: L/L
(25) Carrier slots
Operation screen: Touch screen
Vacuum pressure control: VAT
Controller transformer: 208V, Single phase
Heater transformer: 440V, 3 Phase
Oxygen analyzer: NGK
Module name:
Process gas 1: N2
Process gas 2: He
Process gas 3: Zr
Process gas 4: O2
Gas distribution system:
Basic style: conventional
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
MFC: STEC
Ozone system: MKS
Manual & air-operated valve: FUJIKIN
Exhaust distribution system:
Air-operated valve type: VCR Connect
Main valve: VAT
Pump line
Cassette In/Out port
Cassette handling robot
(16) Cassette storages
Wafer transfer type: 1 + 4
Fork material: AL2O3
(5) Forks
Fork variable pitch
Fork wafer presence sensor
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
Heater type: RHC
(5) T/C Types
(5) Spike T/C
Missing parts:
CX5000 System controller
CQ1700 Temperature controller
2006 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-CX5 ist ein Diffusionsofen und Zubehörpaket, das entwickelt wurde, um eine hochwertige Diffusionsverarbeitung zu gewährleisten. Es verfügt über eine computergesteuerte Touch-Panel-Vergrößerungs-/Verkleinerungsausrüstung, die präzise Temperaturanpassungen ermöglicht. Der Ofen hat eine Frequenz von bis zu 400Hz und eine maximale Temperatur von 1.300 ° C. Es ist auch mit einem randbeschichteten Graphit-Suszeptor ausgestattet, der die Wärmedispersion minimiert und eine saubere und gleichmäßige Heizfläche ermöglicht. Das System verfügt über zwei Quarzboote für den Diffusionsprozess, die für einen effizienten und konsistenten Betrieb ausgelegt sind. Die Boote haben einen Innendurchmesser von 17,2 mm, einen Außendurchmesser von 19mm und ein maximales Fassungsvermögen von 1ml. Es kommt auch mit einer elektrostatischen Pralleinheit, die Wirbelstromverluste minimiert und eine konstante Temperatur gewährleistet. Das Paket enthält eine wassergekühlte Mikroprozesssteuerung, die die Betriebstemperatur senkt und die thermische Drift minimiert. Es ist auch mit einer effizienten Kühlmaschine ausgestattet, die Zwangsluftkühlmittel verwendet, um eine stabile Betriebstemperatur aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus hat der Diffusionsofen eine maximale aktive Arbeitszeit von fünf Stunden, so dass er den Diffusionsprozess schnell und effektiv abschließen kann. Neben dem Diffusionsofen enthält die Verpackung einen Satz Zubehör, einschließlich einer Quarzschale, einer Ausgleichshalterung und einer Gewichtswanne, die alle entwickelt wurden, um den Benutzer bei der Einrichtung und Durchführung des Diffusionsprozesses zu unterstützen. Ein Luftkompressor ist auch enthalten, um einen gleichmäßigen Luftstrom zum Ofen bereitzustellen, die Effizienz des Diffusionsprozesses zu verbessern. HITACHI DJ-1206VN-CX5 Paket ist ideal für alle Anforderungen an die Diffusionsverarbeitung. Mit seinen präzisen Temperaturregelungen, dem hocheffizienten Kühlwerkzeug, der stabilen Betriebstemperatur und der langen aktiven Arbeitszeit ist es die perfekte Wahl für jede Diffusionsanwendung.
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