Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DF #9377286 zu verkaufen
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ID: 9377286
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
PECVD Systems, 12"
Process: TIN
2010 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DF ist eine fortschrittliche Diffusionsofen und Zubehör Ausrüstung entwickelt, um die Bedürfnisse der Halbleiter-, Elektronik- und Photonik-Industrie zu erfüllen. Der Ofen verfügt über eine einzigartige Kombination von Eigenschaften, die ihn ideal für eine Vielzahl von Anwendungen machen. Das Ofensystem ist mit der neuesten Diffusionstechnologie ausgestattet, darunter Vakuumglühen, schnelle thermische Verarbeitung, Bogenwiderstandsregelung, eine extrem schnelle elektrische Widerstandsheizung und eine große Auswahl an Zubehör. Der Ofen bietet auch Flexibilität, indem er sich an viele verschiedene Wafergrößen anpassen kann. Die Kernkomponenten der Maschine, einschließlich des Wärmesteuermechanismus, des Diffusionsofens und des Zubehörs, sind alle so konzipiert, dass sie den strengsten Industriestandards entsprechen. Der Ofen hat einen großen Temperaturbereich, der von -200 bis + 1300C reicht, mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und geringer Ausgasung. Der Diffusionsofen bietet auch eine präzise thermische Kontrolle mit einer Vielzahl von Einstellungen, wie Heizrate, Einweichzeit und Verweilzeit. Das Tool kommt auch mit einer Reihe von Zubehör, die das Asset noch leistungsfähiger machen. Das Zubehör umfasst beispielsweise zwei Roboter-Waferhandler, die das automatische Laden/Entladen von Wafern, Roboter-Bewegungssteuerungssysteme und eine grafische Benutzeroberfläche ermöglichen, die eine einfache Bedienung ermöglicht. Darüber hinaus bietet das Zubehör Tele-Service-Funktionen, die einen Fernzugriff auf wichtige Ofenfunktionen ermöglichen. Schließlich kann das Modell auch mit maßgeschneiderten Schutzsystemen ausgestattet werden, die entscheidend sind, um die Verschmutzung von Wafern zu verhindern. Diese Systeme umfassen eine Inertgasversorgungseinrichtung, ein chemisches Dampfablagerungssystem, eine Vakuumeinheit und eine In-situ-Reinigungsmaschine. Diese fortschrittlichen Schutzsysteme sorgen für höchste Qualität der Waferproduktion und minimieren die Ausfallzeiten. Zusammenfassend ist HITACHI DJ-1206VN-DF ein fortschrittliches Diffusionsofen-Tool, das eine große Flexibilität und eine breite Palette von Zubehör bietet. Es ist für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, und der einstellbare Temperaturbereich und die schnelle schaltende elektrische Widerstandswärme können eine schnelle, präzise thermische Steuerung bieten. Das Modell bietet zudem Schutz vor Kontamination und Stillstandszeiten, um die Waferproduktion in höchster Qualität zu halten.
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