Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DF #9377433 zu verkaufen
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ID: 9377433
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
PECVD System, 12"
Process: ALD
2012 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DF ist ein hochmoderner Diffusionsofen mit fortschrittlichen Funktionen für eine Vielzahl von Anwendungen. Der Diffusionsofen verwendet eine moderne Vakuumausrüstung, um dünne Filmschichten auf Wafern abzuscheiden. Diese Technologie wird sowohl für Hochleistungsgeräte wie Mikroprozessoren als auch für die großtechnische Fertigung integrierter Schaltungen eingesetzt. HITACHI DJ-1206VN-DF bietet außergewöhnliche Genauigkeit, um hochpräzise Verarbeitungsanforderungen zu erfüllen. Dies liegt an seinem hochwertigen Vakuumsystem, das ein Haltevakuum von 1 x 10-7 Torr erreichen kann. Zusätzlich weist der Diffusionsofen eine unglaubliche Temperaturgleichförmigkeit von ± 1 ° C auf und kann Temperaturen bis 1250 ° C erreichen. Neben der Temperaturgleichmäßigkeit ist KOKUSAI DJ-1206VN DF mit einer Isoliereinheit ausgestattet, die darauf abgestimmt ist, interne Wärme effizient zu übertragen und die thermische Instabilität zu reduzieren. Dies gewährleistet ein gleichmäßiges und genaues Temperaturprofil während der Verarbeitung, was zu einer höheren Ausbeute an hochwertigen Produkten führt. KOKUSAI DJ-1206VN-DF verfügt auch über einen integrierten Graphit-Suszeptor mit Molybdän- und Graphitabschirmungen, um einen effektiven Puffer gegen Wärmestrahlung zu bieten. Der Suszeptor wird auf Schienen angehoben und abgesenkt, um Prozesssubstrate und Wafer leichter einzuführen und zu extrahieren. Ferner ist der Diffusor mit einem drehmotorisierten Drehteller ausgestattet, um Wafer besser durch den Suszeptor zu drehen, um eine konsistentere Abscheidung zu erzielen. DJ-1206VN DF enthält auch eine integrierte Leistungssteuereinheit (PCU), mit der die elektrische Leistungsaufnahme der Maschine über vordefinierte Sollwerte überwacht und überwacht und gemessen werden kann. Dies erhöht die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Verarbeitungsergebnisse. Schließlich wird HITACHI DJ-1206VN DF durch eine Reihe von Zubehörteilen erweitert, um dem Anwender ein umfassendes Tool für Diffusionsprozesse zur Verfügung zu stellen. Enthalten sind eine flüssige Stickstoffquelle, eine Gasversorgungsanlage und ein Prozessgasüberwachungsmodell. Der Diffusionsofen umfasst auch Funktionen wie automatisierte Prozesssteuerung sowie Prozessabbildungs- und Abstimmungsalgorithmen, um bestmögliche Verarbeitungsergebnisse zu gewährleisten. Abschließend ist DJ-1206VN-DF ein außergewöhnlicher Diffusionsofen mit fortschrittlichen Funktionen und Zubehör. Seine hochpräzise Vakuumausrüstung, Temperaturgleichmäßigkeit, Isolationssystem und integrierte Graphit-Suszeptor kombinieren, um eine effiziente und genaue Einheit zu bieten. Darüber hinaus erweitern eine Reihe von Zubehörteilen, einschließlich einer Flüssigstickstoffquelle und einer Prozessgasüberwachungsmaschine, das Potenzial des Werkzeugs weiter. Zusammen machen diese Funktionen HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN DF zu einer idealen Wahl für jeden diffusionsbasierten Prozess.
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