Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN #9377460 zu verkaufen

HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN
ID: 9377460
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
PECVD System, 12" Process: ALD 2006 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das speziell für die schnelle thermische Verarbeitung von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es ist ein ideales Werkzeug für Prozesse wie thermische Oxidation, Diffusion, Nitridation und andere anspruchsvolle Anwendungen, die Submikrongenauigkeit und Wiederholbarkeit erfordern. Der Ofen verfügt über einen voll softwaregesteuerten Betrieb, der eine effiziente und konforme Erwärmung der Wafer ermöglicht. Der Ofen ist für den Einsatz in Fertigungslinien ausgelegt, bei denen eine gleichmäßige Diffusion und andere thermische Prozesse erforderlich sind. Es hat eine vertikale Profilkonfiguration, die eine Charge von vier (200mm/8 ") Wafern aufnehmen kann. Der Ofen kann auch drei 75mm (3 „) Wafer und einzelne 100mm (4“) Wafer aufnehmen, wodurch er sich sowohl für die kleine als auch für die große Waferbearbeitung eignet. Der Ofen ist mit einem einzigartigen Diffusionsaufbau bestehend aus zwei thermoelektrischen Reglern und einer programmierbaren Temperaturregelung ausgestattet. Dies ermöglicht dicht gesteuerte Heiz- und Kühlzyklen, die wiederholbare Ergebnisse liefern. Der Temperaturbereich von HITACHI DJ-1206VN beträgt 300 ° C ~ 1300 ° C. KOKUSAI DJ1206VN verfügt auch über ein modernes Sicherheitssystem, das dem Benutzer Sicherheit und Umweltschutz vor gefährlichen Bedingungen bietet. Diese Sicherungen sind in die Konstruktion des Geräts integriert und umfassen eine Sperrbetätigungsmaschine, wenn die Wafer länger als 5 Minuten bei Temperaturen über 900 ° C bleiben. Der Ofen bietet auch 8 Arten von programmierbaren Oxidations-/Nitridations-/Diffusions-/Glühprozessen, die dem Anwender die Flexibilität bieten, die anspruchsvollsten thermischen Prozesse durchzuführen. Es bietet auch 4-programmierbare Zeitschritte für jeden Prozess. Das ausgeklügelte Steuerwerkzeug behält stets die strenge Kontrolle über die Prozesstemperatur und verhindert thermisches Auslaufen und Übertemperatur. Darüber hinaus verfügt DJ-1206VN über einen Timer und Datenkommunikationsfunktionen, die dem Benutzer die Möglichkeit bieten, die Temperatur und die Zeit jedes Prozesses zu überwachen und aufzuzeichnen, so dass es einfach ist, die Ergebnisse auszuwerten. Zusammenfassend ist KOKUSAI DJ-1206VN ein Diffusionsofen und Zubehör, das speziell für die schnelle thermische Verarbeitung von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es ist ideal für Verfahren wie thermische Oxidation, Diffusion, Nitridation und andere anspruchsvolle Anwendungen, die Submikrongenauigkeit und Wiederholbarkeit erfordern. HITACHI DJ1206VN verfügt über eine vertikale Profilkonfiguration, zwei thermoelektrische Controller, programmierbare Temperaturregler, fortschrittliches Sicherheitsmodell, 8 Arten von programmierbaren Prozessen, 4-programmierbare Zeitschritte, Timer- und Datenkommunikationsfunktionen, mit denen Benutzer ihre Wafer effektiv und präzise thermisch bearbeiten können.
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