Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DJ-1223 #293636498 zu verkaufen

HITACHI / KOKUSAI DJ-1223
ID: 293636498
Diffusion furnace.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1223 ist ein Diffusionsofen, der entwickelt wurde, um außergewöhnliche Zuverlässigkeit und Leistung zu bieten. Diese Oberseite des Leitungsofens verfügt über eine Edelstahlkammer mit Quarzkomponenten und eine hochbelastete elektrische Ausrüstung. Der Ofen ist mit einer einzigen Diffusionszone ausgestattet, die Temperaturen bis zu 1250C aufweist, und mit einem Pyrometer zur genauen Temperaturregelung. Die Prozessgase - Argon, Stickstoff und Wasserstoff - stammen aus einem Rezirkulationsgassystem, wodurch der Gasverbrauch effektiv reduziert wird. Der Ofeninnenraum wird durch eine umgekehrte Gasströmungseinheit gereinigt, die Sauerstoff als Reinigungsgas verwendet. Die Diffusionszone auf HITACHI DJ-1223 soll eine gleichmäßige Temperatur für Verbindungen entlang der Wafer erzeugen. Die Zone ist in vier thermische Bereiche unterteilt und verwendet einen internen Heizmechanismus, der von einem Graphitelement betrieben wird. Das Graphitelement wird über einen Wechselstromgenerator aktiviert, wodurch Verschmutzungen reduziert und Lichtbögen durch eine schwerelose Stromquelle eliminiert werden. KOKUSAI DJ-1223 verfügt auch über Hochgeschwindigkeits-Linearroboter und drei Lastports zum Be-/Entladen von Wafern. Die Roboter sind in der Lage, hohe Durchsatzraten, die Zykluszeiten deutlich reduzieren können. Die Gasströmungsmaschine ist vollständig von der Prozessumgebung isoliert, wobei die Qualität der Kammerreinheit erhalten bleibt. Der Ofenschrank besteht aus Edelstahl, der eine hohe Korrosionsbeständigkeit und Festigkeit bietet. Ein Strahlungsschild ist in der Kammer enthalten, um Wärmeverluste zu minimieren. Darüber hinaus verfügt DJ-1223 über ein flaches Quarzrohr, das eine gleichmäßige Wärmeverteilung in der gesamten Kammer ermöglicht. Um die Qualitätsleistung zu erhalten, benötigt HITACHI/KOKUSAI DJ-1223 eine häufige Wartung und Kalibrierung. Dazu gehört der regelmäßige Austausch aller Gas- und Prozesskomponenten sowie die Reinigung und Einstellung der Diffusionskammer und des Pyrometers. Darüber hinaus sollten alle Betreiber in ordnungsgemäßen Sicherheitsverfahren geschult werden, da viele der Ofenkomponenten aus Glas und anderen zerbrechlichen Materialien bestehen. Angesichts hochwertiger Komponenten und zuverlässiger Prozessleistung ist HITACHI DJ-1223 eine ideale Wahl für viele fortgeschrittene Solarzellen-, Dünnschicht- und IC-Anwendungen. Es ist auch ideal für eine Reihe von anderen Diffusionsofen Anwendungen, so dass es eine wertvolle Ergänzung zu jedem Labor oder Fertigungsanlage.
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