Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9377453 zu verkaufen
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ID: 9377453
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
Diffusion furnace, 12"
Type: SiN
2011 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VN ist ein Diffusionsofen und Zubehörpaket. Der Diffusionsofen nutzt eine Niederdruck- und Hochtemperaturumgebung, um Dotierungsmittel in eine Halbleiterscheibe zu diffundieren und so Hochleistungsgeräte zu bilden. HITACHI DJ-1223VN Paket enthält einen Sockel Diffusionsofen, Top-Ladung Ultra-Hochvakuum-Abdeckung, 500W Lampe Baugruppe, Quarzrohr, Auspuffhaube, Auspuffventilator, Isolierung und alle notwendigen Steuerschaltungen für den Betrieb erforderlich. Die Basis des Diffusionsofens ist mit der NF2600A Hochtemperaturlegierung aufgebaut, die Temperaturen bis 2400 ° C standhält und mit einer geringen Strahlungsverluststruktur für eine ausgezeichnete Wärmeeffizienz ausgelegt ist. Die Ultrahochvakuumabdeckung ist aus sauberem Edelstahl gefertigt und für den Einsatz mit einem Vakuum von 5 x 10-6 Torr ausgelegt. Die Lampenanordnung besteht aus 500W von Halogenlampen, die von der Steuerschaltung digital gesteuert werden können; dies ermöglicht die präzise Wahl der Lampenintensität für eine Vielzahl von Anwendungen. Das Quarzrohr ist so konzipiert, dass es während der Verarbeitung eine Betrachtung des Wafers ermöglicht und so eingerichtet ist, dass es mit einem optischen Pyrometer verbunden wird und gleichzeitig Ultrahochvakuum bereitstellt. Die Ablufthaube dient dazu, dem Diffusionsofen saubere Luft zuzuführen, und der Abluftventilator wird verwendet, um aus dem Prozess erzeugte Gase vom Bediener wegzuziehen. Die Isolierung, die verwendet wird, um die Wärmeübertragung aus dem Diffusionsofen zu stoppen, wird mit MN Sercon und Aluminiumbrett hergestellt, was eine ausgezeichnete thermische Stabilität und hohe mechanische Festigkeit bietet und gleichzeitig Wärme von äußeren Quellen fernhält. Die Steuerschaltungen zum Betrieb der Lampenbaugruppe und andere Komponenten des Gehäuses bestehen aus Stromversorgungen, Hochspannungsleistungsreglern und digital-analogen integrierten Schaltungen, die alle zur präzisen Steuerung des Betriebsprozesses ausgelegt sind. Insgesamt ist KOKUSAI DJ1223VN ein außergewöhnlich leistungsfähiges Diffusionsofen und Zubehörpaket. Diese Einheit ermöglicht eine präzise Steuerung des Dotierungsprozesses in Halbleiterscheiben und bietet ein hocheffizientes und zuverlässiges Werkzeug zur Erstellung von Hochleistungsgeräten.
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