Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9377455 zu verkaufen
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ID: 9377455
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Diffusion furnace, 12"
Type: SiN
2006 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VN ist ein Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör für die Nachbearbeitung von Halbleiterscheiben. Die Atmosphäre und die Temperatur im Diffusionsofen werden streng kontrolliert, um genaue und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Die Temperatur kann auf 1200 ° C eingestellt werden und die Atmosphäre kann auf Netz- oder metallorganisches zersetztes Gas eingestellt werden. Der Ofen kann auch für Dotierungs-, Oxidations- und Glühverfahren verwendet werden. Das Design von HITACHI DJ-1223VN verfügt über eine mehrzonige Gitterstruktur und ein einzigartiges Gaszirkulationssystem, um eine ideale und gleichmäßige Temperaturverteilung innerhalb des Ofens zu gewährleisten. Zur Verbesserung der thermischen Emission sind auch die Ofeninnenwände mit Polyimidharz beschichtet. Dies hilft, Temperaturschwankungen nahe der Mitte des Wafers zu reduzieren und Verunreinigungen aus der Reaktionskammer zu verhindern. Der Ofen hat auch Doppeltüren, um ihn von der äußeren Umgebung zu schließen. Dies bietet eine weit, überlegene Dichtigkeit und Isolierung im Vergleich zu typischen Einzeltüren. Die Abgasanlage ist auch mit einem mechanischen Booster ausgestattet, um sicherzustellen, dass Abgas fest verdrängt wird. KOKUSAI DJ1223VN wird von einer 220V/1Ø 3KW Stromquelle angetrieben und verfügt über einen fünfstufigen Timer mit einstellbarer Verweil- und Rampenrate. Über einen externen Regler kann die Temperatur exakt auf 0,1 ° C eingestellt werden. Auch Sicherheitskomponenten wie Überlastschutz, Gasleckageerkennung und Luftschleusenschutzfunktionen sind integriert. Der Ofen wird mit einer Probenheizung, einer Gassteuerungshardware, einem Plattenabgas mit Filter, einer Gasdiffusionssteuerung, einem Netzteil, einer Widerstandsheizung und anderem Zubehör versorgt. HITACHI DJ1223VN bietet eine hervorragende Leistung für Diffusionsöfen, die in der Halbleiternachbearbeitung eingesetzt werden. Die enge Kontrolle der Atmosphäre und der hohen Temperatur macht es ideal für Anwendungen wie Dotieren, Oxidation und Glühen. Die mehrzonige Gitterstruktur, die mit Polyimidharz beschichteten Wände und das Doppeltürdesign sind alle Merkmale, die zu seiner Zuverlässigkeit und Sicherheit beitragen. Darüber hinaus sorgt der einstellbare Timer und die Temperaturgenauigkeit von 0,1 ° C dafür, dass die Ergebnisse immer genau und wiederholbar sind.
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