Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9377457 zu verkaufen
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ID: 9377457
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Diffusion furnace, 12"
Type: SI3N4
2006 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VN ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist eine Kombination aus revolutionärer Heiz- und Kühltechnik und präziser Kontrolle der Verarbeitungsbedingungen. Dieser Ofen hat einen einzigartigen Suszeptor mit hohem Emissionsgrad und eine supraleitende, ineinandergreifende Suszeptorstruktur, die eine hervorragende thermische und elektrische Linearität und Gleichmäßigkeit zur homogenen Wärmeverteilung bietet. Dies wird durch eine optimierte Suszeptor/Feuerfestkombination erreicht, die die Nutzung der Hochfrequenzenergie maximiert. Der Ofen hat ausgezeichnete Flexibilität, mit mehreren Betriebsarten, wie EFEM und EFEM + LP-Modi, um verschiedene Prozessrezepte aufzunehmen. Es ist mit einem Gasauswahlventil ausgestattet, das eine präzise und kontrollierte Gasmischung ermöglicht. Es hat auch einen aktiven geschlossenen Kreislauf zur Temperatur- und Gasdruckregelung. Die programmierbaren Steuerungen des Ofens verfügen über eine breite Palette von Steuerungsfunktionen wie Auto-Tuning, Auto-Reinigung, Auto-Belüftung, Vakuum- und Pumpensteuerung und Timing-Funktionen. Der Controller unterstützt auch intelligente Diagnosefunktionen, die eine automatische Abstimmung und Fehlerbehebung ermöglichen. Diese Funktion ist besonders nützlich, wenn eine Stapelverarbeitung erforderlich ist. Der Diffusionsofen verfügt über eine einfache Wartung mit einem leicht austauschbaren Keramikrahmen. Es ist auch mit einem Selbstreinigungsmechanismus für einfache Wartung integriert. Darüber hinaus verfügt es über ein einzigartiges Wärmesenksystem, das das Auftreten von Hotspots minimiert. HITACHI DJ-1223VN kommt mit speziellen Sensoren und Sicherheitseinrichtungen, wie einem Drucksensor zur Erkennung von Gasleckagen, Temperatursensoren zur Überwachung des Schmelzpunktes und einem Inertgaslecksucher zur Sicherstellung einer inerten Atmosphäre. Es hat auch einen Isolationsschutz und Auto-Stop auf wasserspülenden Doppelschutz, um das Auftreten von Stromschlägen zu verhindern. KOKUSAI DJ1223VN Diffusionsofen bietet auch ausgezeichnete Reproduktion und Zuverlässigkeit. Es verfügt über eine fortschrittliche harmonische Kompensation, um Geräuschstörungen während des Betriebs zu verhindern, und verwendet Kreuzkonditionierungstechniken, die die Gleichmäßigkeit der thermischen Gradienten im gesamten Betriebsbereich gewährleisten. Darüber hinaus verfügt es über eine Drucksteuerung und ein Schnelldichtsystem, die es dem Kompressor ermöglichen, bis zum Abschluss des Prozesses in Betrieb zu bleiben. Zusammenfassend ist DJ1223VN ein extrem fortschrittlicher und zuverlässiger Diffusionsofen, der eine hervorragende thermische Kontrolle, Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit bietet. Es bietet auch außergewöhnliche Sicherheitsmerkmale sowie eine präzise Kontrolle der Verarbeitungsbedingungen und ist somit eine ideale Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.
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