Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DJ-802V-H #293595916 zu verkaufen

ID: 293595916
Weinlese: 2012
LPCVD Furnace 2012 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-802V-H ist ein hocheffizientes und zuverlässiges Diffusionsofen und Zubehörpaket für eine schnelle und effektive thermische Verarbeitung. Es ist in der Lage, Temperaturen von bis zu 1200 ° C und seine kompatibel mit einer breiten Palette von Substraten einschließlich Silizium, Metalle, Keramik und Polymere zu liefern. Seine überlegene Isolierung Design sorgt für überlegene Temperatur Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit, so dass Benutzer zuverlässige Ergebnisse für jeden Zyklus. Die Kammer ist mit einem Hochvakuumsensor und einem Kammerdruckmonitor ausgestattet, der extrem genaue Vakuummessungen sowie eine Druckregelung ermöglicht, um Anforderungen von 0,15 Pa bis zur Atmosphäre zu erfüllen. Das Gerät verfügt auch über eine schwere Wafer Handhabung Ausrüstung und eine „Sonde“ System für thermische Kartierung von Wafern. Der integrierte computergesteuerte PID-Temperaturregler bietet eine stabile Temperaturregelung und wiederholbare Heizkurven, während die Legierungsmuffel und der Graphitheizer schnelle Heiz- und Kühlgeschwindigkeiten bieten. Die Kammerstruktur besteht aus SUS304 und einem Flansch, um die Kammer stabiler und sicherer zu bedienen. Die Kammer verfügt über drei Standardanschlüsse, die den Einbau mehrerer umlaufender Rohrleitungen ermöglichen, wodurch die Temperaturregelung erleichtert wird. Die eingebaute Wafer-Be- und Entladeplattform ermöglicht auch zwei Bewegungen, um Kollisionen mit den hitzebeständigen Materialien zu vermeiden. Das dazugehörige Zubehör bietet alle notwendigen Werkzeuge für einen erfolgreichen thermischen Bearbeitungslauf. Das Hochleistungsquarzrohr sorgt für eine hohe Temperatur und schnelle Erwärmung, was es für den Bediener sicherer macht. Es ist auf Kompatibilität mit mehreren Substraten ausgelegt. Der Ofen verfügt außerdem über 2 Gasschaltgeräte, einen EGA-Gasmischer und einen Gasdruckwächter zur präzisen Gasregelung. Die unterstützende Abgasanlage überwacht den Gasstrom mit einem Gasdruckmonitor, der einen zuverlässigen Betrieb und Sicherheit gewährleistet. Eine unabhängige Kühlentwässerung ist vorgesehen, um die Vorrichtung zu kühlen, indem das heiße Gas aus dem Ofen zu einer Abgasmaschine abströmen kann. Zusätzlich bietet eine angepasste Abdeckung zusätzlichen Schutz und einen Anschlussanschluss für zusätzliche Peripheriegeräte. HITACHI DJ-802V-H Diffusionsofen und Zubehörpaket ist eine ideale Lösung für Anwendungen, in denen Genauigkeit und Wiederholbarkeit ein Muss ist. Sein überlegenes Design und seine Eigenschaften sorgen für optimale Leistung, Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit. Mit seiner breiten Palette von kompatiblen Substraten ist diese hocheffiziente dynamische Kammer sicher, die Bedürfnisse jedes thermischen Verarbeitungsprofis zu erfüllen.
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