Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DJ-825V #9294270 zu verkaufen
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ID: 9294270
Wafergröße: 8"
Furnace, 8"
With load lock
Process: Poly
CX-3000 Controller.
HITACHI/KOKUSAI DJ-825V ist ein Diffusionsofen und Zubehör für die Halbleiterherstellung. Es verfügt über eine kompakte Bauweise und ist in der Lage, kontrollierte Oxid- und Nitrid-Diffusionen für Elektronengeräte. Es hat einen kompakten Körper kombiniert mit einer vorderen Ladekassette von 75 mm Breite. Mit Temperaturregelung bis 1.200 ° C eignet sich dieser Diffusionsofen für Diffusionsprozesse von Kleinteilen. Der eigentliche Ofen ist mit einer einzigen Atmosphäre-Box ausgestattet, die bis zu zwei Kassetten aufnehmen kann. Eine Schrupppumpe steuert den Gasstrom durch den Diffusionsofen, um eine homogene Diffusion zu gewährleisten. Die Kammer kann unter Beibehaltung hoher Wärmebehandlungen mit Stickstoff oder anderen inerten Gasen gasgespült werden. Der eingebaute Massendurchflussregler stabilisiert den Gasfluss auch unter niedrigen Temperaturbedingungen und kann unter voller Computersteuerung betrieben werden, was eine präzise Steuerung und Rückkopplung ermöglicht. Das System wird dann zur Wartung an eine Vakuumpumpe angeschlossen. HITACHI DJ-825V Diffusionsofen wird von einer Hochleistungsheizung mit einem einphasigen AC-Eingang von 200 VAC, 50/60 Hz angetrieben. Die Heizung schaltet sich automatisch zur Energieeinsparung ab, wenn die gewünschte Temperatur erreicht ist. Der Ofen verfügt auch über einen „Heizratenmonitor“, der hilft, die Aufheizgeschwindigkeit bis zur Reaktionstemperatur zu steuern, wodurch thermische Auslaufphänomene verhindert werden. Darüber hinaus verfügt die Maschine über erweiterte Sicherheitsfunktionen wie Übertemperaturabschaltung, Gasabschaltung und Bodenfehleralarme/-verriegelungen, auch wenn die Heizung von der Stromquelle getrennt ist. Darüber hinaus wird durch die Verwendung von nicht schichtfähigem Isoliermaterial das Risiko von niedrigen Temperaturwärmeverlusten eliminiert. Für eine einfache und sichere Bedienung ist der KOKUSAI DJ-825V Diffusionsofen mit einem einfachen und einfach zu bedienenden Bedienfeld ausgestattet. Ein erweiterter Timer mit mehreren Ausgängen sowie ein Auto-Stopper sind im Lieferumfang enthalten. Insgesamt ist DJ-825V Diffusionsofen und Zubehör ein leistungsfähiges Wärmebehandlungswerkzeug für kleinere Prozesse in der Halbleiterindustrie. Mit seiner überlegenen Energieeinsparung, Sicherheit und Zuverlässigkeit ist es unerlässlich, um überlegene elektronische Ergebnisse zu erzielen.
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