Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DJ-833V #9186180 zu verkaufen
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ID: 9186180
Wafergröße: 8"
Furnace, 8"
Open cassette
Main frame
Utility box
TEOS Box
Process: TEOS.
HITACHI/KOKUSAI DJ-833V ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das für eine zuverlässige und präzise Prozess- und Überwachungssteuerung für alle Anwendungen entwickelt wurde. Es verfügt über einen breiten Betriebstemperaturbereich zwischen 600 ° und 1500 ° C, der schnelle Temperaturänderungen und reproduzierbare Ergebnisse ermöglicht. Es ist entworfen, um eine homogene Atmosphäre in seiner Kammer durch schnelle Erwärmung und Abkühlung Fähigkeiten zur Verfügung zu stellen, und seine überlegene Temperatur Gleichmäßigkeit bietet ausgezeichnete Diffusionsfähigkeiten. Die intelligente Prozesssteuerungsausrüstung von HITACHI DJ-833V verfügt über mehrere voreingestellte und anpassbare Programme zur Optimierung thermischer Prozesse und zur Vereinfachung der Bedienung. Darüber hinaus verfügt das System über einen spezialisierten Gasströmungsmonitor mit einem Dualmodus-Feature, das sowohl eine genaue Gaskonzentration als auch eine Strömungsgeschwindigkeit genau steuert. Die große Kammer mit ihrer fünfseitigen Quarz-Innenausstattung ist in der Lage, bis zu vier stapelbare Prozessscheiben zu enthalten, und ein manueller Wafer-Transfermechanismus kann für eine einfache Wafer-Handhabung in die Einheit integriert werden. Die Maschine verfügt auch über hocheffiziente, geräuscharme Zwangskühlung, die eine gleichmäßige Temperaturumgebung in der gesamten Kammer gewährleistet. KOKUSAI DJ 833V ist auch für einfache Wartung konzipiert. Es enthält ein Werkzeugreinigungsprogramm für die Kammerwand, den Boden und die Prozessröhre, und das Element kann durch die Verwendung eines zusätzlichen Programm-Update-Kits aktualisiert werden. Darüber hinaus umfasst das Modell eine superlative Prozessüberwachungsausrüstung, die sowohl herkömmliche Systeme als auch moderne Datenerfassungstechnologie umfasst, um einen stabilen und zuverlässigen Prozess zu gewährleisten. Abschließend ist DJ-833V ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör, der für unübertroffene Präzision und vollständige Prozesskontrolle entwickelt wurde. Seine überlegene Temperaturgleichmäßigkeit, Prozesskontrollsystem, große Kammergröße und einfache Wartung machen es die ideale Wahl für alle Prozess- und Diffusionsanwendungen.
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