Gebraucht HITACHI / KOKUSAI Quixace DJ-1226V-DF #293744337 zu verkaufen

ID: 293744337
Weinlese: 2005
Furnace Power box 2005 vintage.
HITACHI / KOKUSAI Quixace DJ-1226V-DF ist ein modernster für Hochleistungshalbleiterfertigungsverfahren entworfener Verbreitungsbrennofen. Dieser Diffusionsofen ist mit fortschrittlichen Funktionen und Zubehör ausgestattet, die eine präzise und gleichmäßige thermische Verarbeitung von Wafern gewährleisten und somit eine ideale Wahl für die Herstellung von hochmodernen Halbleiterbauelementen darstellen. Der Diffusionsofen ist in der Lage, hohe Temperaturen bis 1250 ° C mit einer Temperaturgleichförmigkeit von innerhalb ± 2 ° C über die Waferoberfläche zu erreichen. Diese präzise Temperaturregelung ist wesentlich, um konsistente und zuverlässige Diffusionsprozesse zu erreichen, Schwankungen der Dotierstoffpegel zu minimieren und die gewünschten elektrischen Eigenschaften der Halbleiterbauelemente zu gewährleisten. HITACHI Quixace DJ-1226V-DF verfügt über eine vertikale Gasströmung, die eine effiziente Gasmischung und eine gleichmäßige Gasverteilung innerhalb der Prozesskammer fördert. Diese Konstruktion trägt dazu bei, die Gasschichtung zu minimieren und eine gleichmäßige thermische Verarbeitung von Wafern über die gesamte Charge zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht die vertikale Gasströmungskonstruktion eine bessere Steuerung von Gasströmungen und Verweilzeiten, wodurch die Diffusionsprozessparameter für eine verbesserte Ausbeute und Geräteleistung optimiert werden. Der Diffusionsofen ist mit einem hochreinen Quarzrohr ausgestattet, das eine saubere und stabile Umgebung für die Waferbearbeitung bietet. Das Quarzrohr ist widerstandsfähig gegen thermische Stöße und chemische Reaktionen und gewährleistet langfristige Zuverlässigkeit und Leistung des Diffusionsofens. Darüber hinaus ist das Quarzrohr für Strahlungswärme transparent, was eine effiziente Erwärmung der Wafer und eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der gesamten Prozesskammer ermöglicht. KOKUSAI Quixace DJ-1226V-DF ist mit einer ausgeklügelten Gasförderanlage ausgestattet, die eine präzise Steuerung von Dotierstoffgasen und Trägergasen während des Diffusionsprozesses ermöglicht. Das Gasfördersystem verfügt über Massendurchflussregler, die die Gasdurchflussraten genau regulieren und reproduzierbare Prozessbedingungen und gleichmäßige Dotierstoffprofile über die Waferoberfläche gewährleisten. Die Gasfördereinheit ist außerdem darauf ausgelegt, den Gasverbrauch und den Abfall zu minimieren und die Wirtschaftlichkeit des Diffusionsprozesses zu optimieren. Um die Bedienung und Wartung zu erleichtern, ist der Diffusionsofen mit einer benutzerfreundlichen Schnittstellen- und Steuerungsmaschine ausgestattet. Bediener können mithilfe der intuitiven Touchscreen-Schnittstelle Prozessparameter wie Temperatur, Gasdurchsätze und Prozesszeit einfach einstellen und überwachen. Das Steuerungstool bietet auch Echtzeit-Datenprotokollierungs- und Prozessüberwachungsfunktionen, die eine schnelle Identifizierung von Prozessproblemen und eine Optimierung der Prozessbedingungen ermöglichen. Zusammenfassend ist Quixace DJ-1226V-DF ein hochmoderner Diffusionsofen, der eine leistungsstarke und zuverlässige thermische Verarbeitung für die Halbleiterherstellung bietet. HITACHI/KOKUSAI Quixace DJ-1226V-DF ist eine ideale Wahl für Halbleiterhersteller, die überlegene Leistung und Ertrag erzielen möchten.
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