Gebraucht IPS 300 CA #293614963 zu verkaufen

IPS 300 CA
ID: 293614963
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
Diffusion furnace, 12" 2011 vintage.
IPS 300 CA ist ein Diffusionsofen und Zubehör von Nederman. Es erfüllt eine Vielzahl von Funktionen im Zusammenhang mit den Glüh- und Diffusionsprozessen, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. 300 CA-System ist ein temperaturgeregelter horizontaler Ofen mit reduzierter Brennkammer zur Durchführung von Glüh- und Diffusionsprozessen. Die Einheit ist vom doppelten Gurttyp und bietet eine große Flexibilität in Bezug auf Wafergröße und Rezepturerzeugung. Es wurde entwickelt, um Geschwindigkeit, Effizienz und Wiederholbarkeit zu optimieren. IPS 300 CA Maschine verfügt über zwei verschiedene Heizzonen - eine Vorwärmzone sowie eine Diffusionszone - um optimale Bedingungen über den gesamten Prozess zu gewährleisten. Die Vorwärmzone sorgt dafür, dass sich alle Prozessgase vor Erreichen der Diffusionszone an ihren gewünschten Sollpunkten befinden. Dies hilft nicht nur bei der erfolgreichen Diffusion der Substratatatome, sondern hilft auch bei der Aufrechterhaltung einer konstanten Wärmeleitfähigkeit. Die Vorwärmzone bietet auch genügend Zeit für die Gase, um die Emissionen zu reduzieren und die Möglichkeit der Kondensation in der Kammer zu reduzieren. 300 CA verfügt auch über überlegene Temperatur- und Druckmessfunktionen, einschließlich automatisierter Prozessleitsysteme, die dazu beitragen, dass die optimalen Prozessbedingungen während des gesamten Diffusionsprozesses aufrechterhalten werden. Außerdem trägt eine vertikal angebrachte Quarzrohrquarzrohrquelle mit einem Heizelement und einem keramischen Schild dazu bei, eine gleichmäßige Abscheidung über dem Wafersubstrat zu gewährleisten. Die Quarzrohrquelle ermöglicht auch eine schnelle Temperaturanhebung und Abkühlung für den Prozess. IPS 300 CA-Tool verfügt auch über eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, um die Sicherheit zu verbessern und jede Art von Bedienungsfehlern oder Unfällen zu verhindern. Sein Doppelsperrschutz sorgt für höchste Sicherheit bei gasförmigen Diffusionsprozessen, wenn der Ofen unter Druck steht. Darüber hinaus verfügt die Anlage über eine automatische Überdruckabschaltung sowie über intrinsische Sicherheitsmaßnahmen, die helfen, jede Art von katastrophalen Explosionen durch das Vorhandensein von brennbaren Gasen zu verhindern. Insgesamt ist 300 CA-Modell eine ideale Wahl für Halbleitergerätentwicklungsprozesse, die das komplizierte Ausglühen und die Diffusionsprozesse verlangen. Mit seinem robusten und zuverlässigen Design bietet IPS 300 CA eine sichere und zeiteffiziente Methode zur Substratdiffusion und -glühung.
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