Gebraucht KE DD-1223V #9381846 zu verkaufen
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ID: 9381846
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2001
Furnace, 12"
Process: Pyro
(100) Process wafers
Process type: Oxide
Gas supply: Bottom
PCW Supply: Bottom
Boat operation: 1 Boat
(25) Carrier slots
Heater type: D4EX16975-1
Gases: N2, O2, H2, HCl
Hard Disk Drive (HDD)
System control:
CX3002C Main controller
Operation screen: Touch screen
Gas flow chart (Front, rear)
CQ1600 Temperature controller
Pressure control: EPV100-AW
Controller power: Ø1 208V 150A
Heater power: Ø3 208V 350A
Tape heater controller: SR Mini
Torch
Process gases:
Gas name / Type
Gas 1 / N2 FC-D986Y-BF 30SLM
Gas 2 / N2 FC-D986Y-BF 50SLM
Gas 3 / O2 FC-D986Y-BF 20SLM
Gas 4 / O2 FC-D985Y-BF 5SLM
Gas 5 / H2 FC-D986Y-BF 20SLM
Gas 6 / Hcl FC-D985Y-BF 0.5SLM
Gas 7 / N2 FM-D866Y-BF 10SLM
Gas 8 / N2 FM-D866Y-BF 5SLM
Gas distribution system:
Basic style: FUJIKIN IGS
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
FUJIKIN Manual valve
FUJIKIN Air operated valve
AP TECH Regulator
MFC (Maker, model): AERA
Exhaust distribution system:
APC EPV-100
Wafer / Cassette handling:
(16) Cassette storages
Cassette in / Out port
Cassette handling robot
Wafer transfer type: 1+4
Fork material: Ceramic
(5) Forks
Fork variable pitch
Fork wafer presence sensor
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
D4EX16975-1 Heater
Spike T/C
Overtemp protect T/C
Door interlock
Exhaust system:
Heater exhaust
Gas box exhaust
Process exhaust
ETC:
Handy terminal
Manifold assembly
Cap base assembly
Tube setting part assembly
Missing parts:
Scavenser EXH MS3 Sensor
Torch TC
2001 vintage.
KE DD-1223V Diffusionsofen und Zubehör ist eine vielseitige, temperaturgeregelte elektrische Backofenausrüstung für den Einsatz in der wissenschaftlichen und industriellen Forschung und Entwicklung. Mit hoher Temperaturfähigkeit, breitem Temperaturbereich, mit feiner inkrementeller Steuerung von 200 ° C bis 1000 ° C und einer kontinuierlichen Leistung von bis zu 24 Watt/cm2, bietet es zuverlässige Leistung, Effizienz und Sicherheit für viele industrielle Heizprozesse. Die Einheit verfügt über ein kompaktes Gehäuse und eine sichere, isolierte Konstruktion, so dass es einfach zu installieren und zu warten. Ein präziser, digitaler Temperaturregler mit PID-Steuerung sorgt für konsistente und wiederholbare Heizvorgänge. Der Ofen ist mit doppelwandiger Mineralisolierung gebaut, bietet ausgezeichnete Temperaturgleichförmigkeit und überlegene Energieeffizienz. Das Gerät verwendet eine einzigartige „offene Tür“ -Design, so dass es leicht zugänglich für das Be- und Entladen von Teilen, die beheizt werden, und für die Wartung und Wartung des Systems. Die Kammer ist für Diffusionsprozesse bis hin zum Löten und Löten ausgelegt. Die Türen sind mit einem einzigartigen „Schwenkstil“ gestaltet, der einen einfachen Zugang und zusätzliche Flexibilität ermöglicht. Die gesamte Einheit besteht aus hochwertigen Materialien. Für DD-1223V stehen eine Vielzahl von Ofenzubehör zur Verfügung, darunter ein Quarzrohrhalter und Quarzrohr, die eine präzise Quarzprüfung ermöglichen. Eine Vielzahl von Tiegeln und Geschirr kann auch verwendet werden, mit Temperaturen bis 1000 ° C, wodurch es möglich ist, eine Vielzahl von Probenvorbereitungs- und Analyseverfahren durchzuführen. Weitere Merkmale sind eine doppelte Fenstertüröffnungsmaschine mit einem manuellen Drehmomentknopf für einfachen Zugang und Wartung sowie ein einstellbares, PID-gesteuertes Temperatureinstellwerkzeug. KE DD-1223V Diffusionsofen und Zubehör ist eine ideale Lösung für viele industrielle und wissenschaftliche Heizprozesse und bietet unübertroffene Leistung, robuste Konstruktion und zuverlässige Temperaturregelung. Es eignet sich perfekt für Tests, vorbereitende Verarbeitung und analytische Prozesse mit einer Vielzahl von Metallen und Legierungen sowie Quarz, Porzellan und Keramik. Mit seinem einfach zu installierenden Design, der effizienten Isolierung, dem präzisen digitalen Temperaturregler und einer Vielzahl von Zubehör ist DD-1223V eine leistungsstarke Lösung für jeden Diffusionsprozess.
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