Gebraucht KE DD-823V #9364541 zu verkaufen
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KE DD-823V Diffusionsofen ist eine leistungsstarke, zuverlässige und robuste Abscheidungsvorrichtung, die für die Verarbeitung von Halbleiterscheiben mit hohem Volumen und selektiven Flächen entwickelt wurde. Es verwendet die einzigartige pulsdynamische Diffusionsheizung, um eine gleichmäßige Hochtemperaturheizung für eine Vielzahl von Prozessen wie PECVD, CVD, schnelles thermisches Glühen und dielektrische Abscheidung bereitzustellen. DD-823V ist zudem mit verbesserten Vertikalantriebsmotoren ausgestattet, die eine präzise Zonensteuerung von bis zu acht horizontal montierten Kassettenbeladetoren ermöglichen. Diese Funktion ermöglicht maximale Flexibilität für einen schnellen Übergang zwischen verschiedenen Prozessen. Der Ofen enthält auch ein Drei-Wege-Sicherheitsschaltersystem zur Überwachung der Kassetten-, Kammer- und Deckeltemperaturen, um Sicherheit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Zusätzlich wird die maximale Kammertemperatur auf Prozessanforderungen programmiert. Die integrierte Steuereinheit von KE DD-823V bietet eine genaue Prozesstemperaturregelung und eine benutzerfreundliche Bedienung. Es kommt auch mit einem Prozesscontroller und Sicherheitsmonitor, sowohl mit eingebauten Sensoren, als auch programmierbare Alarm- und Statusfunktionen. Austauschbare Gaspaneele steuern die beheizte Zone für eine bessere Kammereinheitlichkeit. DD-823V verfügt auch über eine grafische Touchscreen-Benutzeroberfläche, die einen schnellen und einfachen Zugriff auf Verarbeitungsparameter ermöglicht. KE DD-823V ist zudem mit innovativen und benutzerfreundlichen Wartungsfunktionen ausgestattet. Seine einzigartigen Selbstüberwachungsfunktionen ermöglichen eine schnelle Reaktion auf anormale Zustände und ermöglichen sowohl eine unterbrechungsfreie Wartung als auch eine kontinuierliche Überwachung der Kammerbedingungen. Die Vorrichtung ist auch mit einem abnehmbaren Gaspanel zur periodischen Reinigung und Inspektion ausgestattet. Der Ofen wird auch mit einer kurzen Zyklustür geliefert, so dass Teile schnell und störungsfrei ausgetauscht werden können. Darüber hinaus kann der Ofen in manuellen oder automatischen Modi betrieben werden, so dass er leicht an jede Prozessanforderung angepasst werden kann. Zusammenfassend ist DD-823V Diffusionsofen eine leistungsfähige und zuverlässige Maschine, die einen schnellen Übergang zwischen Prozessen und einer präzisen Zonensteuerung ermöglicht. Es ist mit einer vielseitigen Steuerungsmaschine, einem modularen Gaspanel und einer einfach zu bedienenden Wartungsfunktion ausgestattet. Dieses Modell ist eine großartige Lösung für die Verarbeitung von großvolumigen und selektiven Halbleiterscheiben.
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