Gebraucht KOKUSAI CX-3000 #293762870 zu verkaufen
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ID: 293762870
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Diffusion furnace, 12"
Part number: DD-1223V
Process: H2 Anneal
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 208 V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase
2004 vintage.
KOKUSAI CX3000 ist eine anspruchsvolle und hochentwickelte Diffusionsofenanlage, die eine präzise und effiziente thermische Verarbeitung für Halbleiterherstellungsanwendungen ermöglicht. Dieses hochmoderne System integriert eine Reihe von Funktionen und Technologien, um eine zuverlässige und konsistente Leistung in einer Reinraumumgebung zu gewährleisten. Kern von KOKUSAI CX-3000 ist eine Hochleistungs-Diffusionsofenkammer, die eine extrem enge Temperaturregelung für den Diffusionsprozess erreichen und aufrechterhalten kann. Das Gerät ist mit mehreren Heizelementen ausgestattet, die über die gesamte Kammer verteilt sind, um eine gleichmäßige Temperaturverteilung und eine präzise thermische Profilierung zu gewährleisten. Dies ermöglicht die genaue Regelung der für verschiedene Diffusionsprozesse erforderlichen Temperaturgradienten und Rampenraten, wie Phosphor- oder Bor-Diffusion. CX3000 verfügt über eine ausgeklügelte Gasfördermaschine, die das Einbringen der für den Diffusionsprozess erforderlichen präzisen Gemische von Dotierstoffgasen ermöglicht. Das Werkzeug ist mit hochpräzisen Massendurchflussreglern ausgestattet, die eine genaue und wiederholbare Steuerung der Gasdurchflussraten ermöglichen und die richtige Konzentration der Dotierstoffgase in der Kammer gewährleisten. Diese genaue Steuerung ist wesentlich, um die gewünschten Dotierstoffprofile in den zu bearbeitenden Halbleiterscheiben zu erreichen. Zusätzlich zu seinen präzisen Thermo- und Gassteuerungsfunktionen ist CX-3000 mit fortschrittlichen Automatisierungs- und Prozesssteuerungsfunktionen ausgestattet, die den Betrieb optimieren und die Produktivität verbessern. Das Asset ist mit einer benutzerfreundlichen Steueroberfläche verbunden, mit der Bediener Prozessparameter einfach einrichten und überwachen sowie Prozessrezepte für einen effizienten Betrieb speichern und abrufen können. Diese Automatisierungsfunktion umfasst auch erweiterte Diagnose- und Protokollierungsfunktionen, die eine Echtzeit-Überwachung der Modellleistung ermöglichen und eine proaktive Wartung erleichtern. Darüber hinaus ist KOKUSAI CX3000 mit einem Schwerpunkt auf Sicherheit und Zuverlässigkeit konzipiert, mit robuster Konstruktion und ausfallsicheren Systemen, die die Integrität des Diffusionsprozesses gewährleisten und sowohl die Ausrüstung als auch die Bediener vor potenziellen Gefahren schützen. Das System ist mit umfassenden Sicherheitsverriegelungen und Alarmen ausgestattet, die anormale Zustände wie Übertemperatur- oder Gasleckagen erkennen und darauf reagieren, um Unfälle zu vermeiden und die Integrität der Halbleiterverarbeitungsumgebung zu gewährleisten. KOKUSAI CX-3000 ist auch mit Blick auf Flexibilität und Skalierbarkeit konzipiert, mit Optionen für die Anpassung und Integration mit anderen Halbleiterherstellungsgeräten. Das Gerät kann mit zusätzlichem Zubehör, wie Lastverriegelungskammern, Wafer-Handling-Systemen und Prozessüberwachungswerkzeugen konfiguriert werden, um eine vollständig integrierte Halbleiterverarbeitungslinie zu schaffen, die auf die spezifischen Bedürfnisse des Kunden zugeschnitten ist. Abschließend ist CX3000 eine hochmoderne Diffusionsofenmaschine, die fortschrittliche Technologien, präzise Steuerungsfunktionen und ein robustes Design kombiniert, um eine zuverlässige und effiziente thermische Verarbeitung für Halbleiterherstellungsanwendungen zu ermöglichen. Mit seinen leistungsstarken Eigenschaften und seiner Flexibilität ist CX-3000 eine ideale Lösung für Halbleiterhersteller, die hochwertige und leistungsfähige Halbleiterbauelemente erzielen möchten.
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