Gebraucht KOKUSAI CX-3000 #293762955 zu verkaufen
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ID: 293762955
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Diffusion furnace, 12"
P/N: DJ-1223VN
Process: ALD SIN
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 208 V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase
2006 vintage.
KOKUSAI CX3000 ist eine hochmoderne Diffusionsofenanlage, die speziell für Halbleiterherstellungsprozesse entwickelt wurde. Dieses fortschrittliche System bietet eine breite Palette von Funktionen und Funktionen, so dass es ideal für Serienumgebungen geeignet ist, die eine präzise und konsistente Verarbeitung von Wafern erfordern. KOKUSAI CX-3000 ist auf Effizienz und Zuverlässigkeit optimiert und stellt sicher, dass Hersteller ihre Produktionsziele mit minimalen Ausfallzeiten und maximaler Leistung erreichen können. Eines der Hauptmerkmale von CX3000 ist seine Hochtemperaturfähigkeit, so dass das Gerät Temperaturen bis zu 1200 ° C erreichen kann. Auf diese Weise kann die Maschine eine Vielzahl von Hochtemperaturprozessen wie Oxidation, Diffusion und Glühen mit außergewöhnlicher Präzision und Kontrolle durchführen. CX-3000 ist mit mehreren Heizzonen und fortschrittlichen Wärmemanagementtechnologien ausgestattet, um eine gleichmäßige Erwärmung über die Waferoberfläche zu gewährleisten, was zu konsistenten Prozessergebnissen und hoher Geräteleistung führt. Neben seinen Hochtemperaturfähigkeiten bietet KOKUSAI CX3000 eine breite Palette von Prozessgasen und Konfigurationen zur Unterstützung verschiedener Fertigungsanforderungen. Das Werkzeug ist kompatibel mit einer Vielzahl von Gasen, die üblicherweise in der Halbleiterverarbeitung verwendet werden, einschließlich Sauerstoff, Stickstoff und Dotierstoffgasen. KOKUSAI CX-3000 verfügt zudem über eine robuste Gaslieferanlage mit präzisen Durchflusssteuerungsfunktionen, die während des gesamten Prozesszyklus genaue und wiederholbare Gasdurchflussraten gewährleistet. Ein weiteres bemerkenswertes Merkmal von CX3000 ist das fortschrittliche Automatisierungs- und Steuerungsmodell, das eine nahtlose Integration mit fab-wide manufacturing execution systems (MES) und process control systems (PCS) ermöglicht. Das Gerät ist mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche und einer intuitiven Software ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, Prozessrezepte einfach zu programmieren und zu überwachen, Echtzeitanpassungen vorzunehmen und Leistungsparameter des Systems zu verfolgen. CX-3000 verfügt auch über umfassende Datenerfassungs- und Berichtsfunktionen, so dass Hersteller Prozessdaten analysieren und den Produktionsdurchsatz optimieren können. KOKUSAI CX3000 ist eine hochkonfigurierbare Einheit, die an spezifische Fertigungsanforderungen und Prozessanforderungen angepasst werden kann. Die Maschine bietet eine Reihe von Wafergrößen und Ladekonfigurationen, einschließlich Batch- und Single-Wafer-Verarbeitungsoptionen. Das Werkzeug kann auch mit einer Vielzahl von Zubehör und Peripheriegeräten wie Wafer Handling Roboter, Lastschlösser und Gasschränke ausgestattet werden, um seine Funktionalität und Vielseitigkeit weiter zu verbessern. Zusammenfassend ist KOKUSAI CX-3000 ein vielseitiges und zuverlässiges Diffusionsofen-Asset, das sich gut für hochvolumige Halbleiterherstellungsumgebungen eignet. Mit seinen Hochtemperaturfähigkeiten, einer präzisen Gassteuerung, fortschrittlicher Automatisierung und flexiblen Konfigurationsoptionen bietet CX3000 Herstellern eine leistungsstarke Lösung für optimale Prozessleistung, hohe Geräteausbeute und überlegene Produktqualität.
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