Gebraucht KOKUSAI CX-3000 #293762971 zu verkaufen

KOKUSAI CX-3000
ID: 293762971
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Diffusion furnace, 12" P/N: DD-1223VN Process: SI3N4 Main controller: CX3010 / CX3010B Power supply: 208V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase 2007 vintage.
KOKUSAI CX-3000 ist ein hochmoderner Diffusionsofen zur präzisen und gleichmäßigen Verarbeitung von Halbleiterscheiben in Halbleiterherstellungs- und Forschungsinstituten. Dieser Hochleistungsofen ist mit fortschrittlichen Funktionen und Fähigkeiten ausgestattet, um die anspruchsvollen Anforderungen der Branche zu erfüllen. Im Zentrum von KOKUSAI CX3000 steht das Diffusionsrohr, das aus hochreinem Quarz gefertigt ist, um eine ausgezeichnete thermische Stabilität und gleichmäßige Heizeigenschaften zu gewährleisten. Das Rohr ist für die gleichzeitige Aufnahme mehrerer Wafer ausgelegt, so dass die Batch-Verarbeitung von Wafern den Durchsatz und die Effizienz steigern kann. Das Diffusionsrohr ist auch mit spezialisierten Gasverteilungssystemen ausgestattet, um eine präzise Steuerung des Durchflusses von Dotierstoffgasen und anderen Prozessgasen zu ermöglichen und so genaue und reproduzierbare Verarbeitungsergebnisse zu gewährleisten. CX-3000 bietet ein breites Spektrum an Betriebstemperaturen, von Tieftemperaturverfahren für Glühen und Oxidation bis hin zu Hochtemperaturverfahren für Diffusion und Glühen. Das Gerät ist mit mehreren Heizzonen und präzisen Temperaturregelmechanismen ausgestattet, um das ideale thermische Profil für jeden Prozessschritt zu schaffen. Dies gewährleistet Gleichmäßigkeit über die gesamte Waferoberfläche und eliminiert Temperaturschwankungen, die die Geräteleistung und -ausbeute beeinflussen können. Um die Leistung und Zuverlässigkeit des Systems weiter zu verbessern, ist CX3000 mit automatisierten Prozessleitsystemen ausgestattet, die wichtige Parameter in Echtzeit überwachen und anpassen. Dazu gehören Gasdurchsätze, Temperaturprofile, Druckniveaus und andere kritische Prozessgrößen, um optimale Verarbeitungsbedingungen und konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. KOKUSAI CX-3000 bietet auch eine Reihe fortschrittlicher Prozessrezepte und Anpassungsoptionen für eine Vielzahl von Halbleiterprozessen und -materialien. Anwender können ganz einfach maßgeschneiderte Rezepte für verschiedene Anwendungen programmieren und speichern, was eine schnelle und nahtlose Prozessentwicklung und -optimierung ermöglicht. Neben seinen erweiterten Verarbeitungsfunktionen ist KOKUSAI CX3000 auf einfache Bedienung und Wartung ausgelegt. Das Gerät verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche mit intuitiven Bedienelementen und Datenprotokollierungsfunktionen, die es dem Bediener ermöglicht, Prozessparameter und Performance-Metriken in Echtzeit zu überwachen. Der Ofen ist auch mit Diagnosewerkzeugen und Fernüberwachungsfunktionen ausgestattet, um Fehlerbehebungs- und Wartungsaktivitäten zu erleichtern. CX-3000 können durch eine Reihe von Zubehör und Upgrades weiter verbessert werden, um spezifische Benutzeranforderungen zu erfüllen. Dazu gehören Optionen für zusätzliche Gasleitungen, Wafer-Handling-Systeme und erweiterte Prozessüberwachungstools. Die Maschine kann auch mit anderen Werkzeugen und Geräten in einer Halbleiterfertigungslinie integriert werden, um eine vollautomatische und nahtlose Produktionsumgebung zu schaffen. Insgesamt bietet CX3000 eine leistungsstarke und vielseitige Lösung für Halbleiterverarbeitungsanwendungen, die fortschrittliche Technologie, Präzisionssteuerung und Benutzerfreundlichkeit kombiniert, um eine leistungsstarke und zuverlässige Waferbearbeitung zu ermöglichen. Ob für Forschung und Entwicklung oder für die Serienproduktion, dieser Diffusionsofen bietet die Fähigkeiten und Flexibilität, die erforderlich sind, um den sich entwickelnden Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden.
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