Gebraucht KOKUSAI CX-3000 #293762972 zu verkaufen
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ID: 293762972
Wafergröße: 12"
Diffusion furnace, 12"
P/N: DD-1223VN
Process: SI3N4
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 208V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase.
KOKUSAI CX3000 ist ein innovativer für Hochleistungshalbleiterfertigungsverfahren entworfener Verbreitungsbrennofen. Diese moderne Ausrüstung bietet eine präzise Kontrolle über Temperatur, Druck und Gasfluss, um eine gleichmäßige und reproduzierbare Filmabscheidung auf Wafersubstraten zu gewährleisten. KOKUSAI CX-3000 ist mit fortschrittlichen Heizelementen und Gaszufuhrsystemen ausgestattet und somit ideal für Forschungs- und Produktionsanwendungen in der Halbleiterindustrie. CX3000 verfügt über einen Hochtemperatur-Rohrofen, der Temperaturen bis zu 1200 ° C erreichen kann und die Abscheidung einer Vielzahl von dünnen Filmen und Schichten ermöglicht. Der Rohrofen besteht aus hochwertigem Quarzmaterial, das eine ausgezeichnete thermische Stabilität und gleichmäßige Temperaturverteilung über die Waferoberfläche gewährleistet. Dieses Konstruktionsmerkmal ist für die Erzielung konsistenter und zuverlässiger Folieneigenschaften über mehrere Wafer in einer einzigen Charge unerlässlich. Darüber hinaus ist CX-3000 mit einem ausgeklügelten Gasfördersystem ausgestattet, das eine präzise Steuerung der Strömungsgeschwindigkeiten verschiedener Prozessgase wie Dotierstoffe, Oxidationsmittel und Vorläufer ermöglicht. Dieses Kontrollniveau ist für die Anpassung des Abscheideprozesses an spezifische Materialanforderungen und Geräteleistungsspezifikationen unerlässlich. Die fortschrittliche Gasfördereinheit minimiert außerdem den Gasverbrauch und sorgt für eine saubere Prozessumgebung, was zu einer hochwertigen Filmabscheidung mit minimalen Verunreinigungen führt. Neben seinen ausgeklügelten Heiz- und Gasversorgungssystemen verfügt KOKUSAI CX3000 über eine intuitive Benutzeroberfläche, mit der Bediener den Abscheidungsprozess problemlos programmieren und überwachen können. Die Maschine ist mit einem Touchscreen-Display ausgestattet, mit dem Bediener Temperaturprofile, Gasdurchsätze und andere Prozessparameter präzise einstellen können. Die benutzerfreundliche Oberfläche umfasst auch Echtzeit-Überwachungs- und Datenerfassungsfunktionen, die den Betreibern wertvolle Einblicke in den Abscheideprozess bieten und eine schnelle Fehlerbehebung und Optimierung der Prozessbedingungen ermöglichen. KOKUSAI CX-3000 kann Wafergrößen bis zu 300mm aufnehmen und eignet sich somit für eine breite Palette von Halbleiterherstellungsanwendungen, einschließlich Logikbausteinen, Speicherbausteinen und Leistungsbausteinen. Das Werkzeug ist mit verschiedenen Wafermaterialien, wie Silizium, Galliumarsenid und Siliziumkarbid kompatibel und ermöglicht eine vielseitige Abscheidung über verschiedene Halbleitermaterialplattformen hinweg. CX3000 bietet auch Flexibilität bei der Prozessanpassung, sodass Anwender Ablagerungsprozesse für spezifische Geräteanforderungen und Leistungsziele entwickeln und optimieren können. Insgesamt ist CX-3000 ein hochmoderner Diffusionsofen, der fortschrittliche Technologie, präzise Steuerung und benutzerfreundlichen Betrieb kombiniert, um eine Hochleistungsfilmabscheidung für Halbleiterherstellungsanwendungen zu ermöglichen. KOKUSAI CX3000 ist mit seinem robusten Design, seinen vielseitigen Fähigkeiten und seiner intuitiven Benutzeroberfläche ein wertvolles Werkzeug für Forscher und Halbleiterhersteller, die Geräte der nächsten Generation mit überlegener Leistung und Zuverlässigkeit entwickeln möchten.
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