Gebraucht KOKUSAI CX-3000 #293762980 zu verkaufen
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ID: 293762980
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Diffusion furnace, 12"
P/N: DD-1223VN
Process: HTO
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 120V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase
2007 vintage.
KOKUSAI CX3000 ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen und Zubehör für Halbleiterherstellungsprozesse. Dieses fortschrittliche Gerät verfügt über modernste Technologien, um eine präzise Kontrolle und Einheitlichkeit über den Diffusionsprozess zu gewährleisten, was zu überlegener Qualität und Effizienz bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen führt. KOKUSAI CX-3000 verfügt über ein horizontales Design, das ein einfaches Be- und Entladen von Wafern sowie eine Maximierung der Verarbeitungskapazität des Ofens ermöglicht. Das System ist mit einem Hochtemperatur-Quarzrohr ausgestattet, das eine gleichmäßige Wärmeverteilung über die gesamte Länge des Wafers gewährleistet, was zu konsistenten und zuverlässigen Verarbeitungsergebnissen führt. Eines der wichtigsten Highlights von CX3000 ist seine fortschrittliche Heizeinheit, die eine Kombination aus Strahlungs- und Konvektionsheizelementen verwendet, um eine schnelle und präzise Temperaturregelung zu erreichen. Damit erreicht und hält der Ofen die gewünschten Verarbeitungstemperaturen schnell und präzise, minimiert Zykluszeiten und steigert die Gesamtproduktivität. Zusätzlich zu seinen überlegenen Heizmöglichkeiten ist CX-3000 mit einer umfassenden Gasfördermaschine ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Umgebungsatmosphäre im Ofen ermöglicht. Dieses Werkzeug umfasst Massenstromregler, Druckregler und Gasleitungen, die die genaue und konsistente Abgabe von Prozessgasen wie Dotierstoffen und Trägergasen gewährleisten, um die gewünschte Diffusionsumgebung zu schaffen. KOKUSAI CX3000 verfügt auch über eine fortschrittliche Temperaturüberwachung und Steuerung, die Thermoelemente und Temperatursensoren verwendet, um die Ofentemperatur während des gesamten Diffusionsprozesses kontinuierlich zu überwachen und anzupassen. Dieses Echtzeit-Rückkopplungsmodell stellt sicher, dass der Wafer dem richtigen Temperaturprofil unterworfen wird, was zu präzisen und wiederholbaren Diffusionsergebnissen führt. Darüber hinaus verfügt KOKUSAI CX-3000 über eine umfassende Datenerfassungs- und Auswerteausrüstung, mit der Betreiber wichtige Prozessparameter in Echtzeit verfolgen und analysieren können. Dieses System liefert wertvolle Einblicke in die Leistung des Ofens, wodurch Anwender Prozesseinstellungen optimieren und die Gesamtproduktivität und den Ertrag verbessern können. Um die Sicherheit und Zuverlässigkeit der Ausrüstung zu gewährleisten, ist CX3000 mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich Notabschaltmechanismen, Übertemperaturschutz und Gasleckerkennungssystemen. Diese Merkmale helfen, Unfälle zu vermeiden und den reibungslosen und sicheren Betrieb des Diffusionsofens zu gewährleisten. Insgesamt ist CX-3000 eine hochmoderne Diffusionsofeneinheit, die außergewöhnliche Präzision, Kontrolle und Zuverlässigkeit für Halbleiterherstellungsprozesse bietet. Mit seinen fortschrittlichen Technologien und dem umfassenden Design ist diese Ausrüstung ideal für Serienumgebungen, in denen Qualität, Effizienz und Prozesskonsistenz an erster Stelle stehen.
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