Gebraucht KOKUSAI CX-3000 #293762981 zu verkaufen

KOKUSAI CX-3000
ID: 293762981
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
Diffusion furnace, 12" P/N: DJ-1206VN Process: ALD SIN Main controller: CX3010 / CX3010B Power supply: 208V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase 2012 vintage.
KOKUSAI CX-3000 ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen, der den wachsenden Anforderungen der Halbleiterindustrie an fortschrittliche Prozesstechnologien gerecht wird. Diese hochmoderne Ausrüstung bietet eine Reihe von Fähigkeiten, die sie sowohl für die Forschung als auch für die Produktion geeignet machen. Im Zentrum von KOKUSAI CX3000 steht das fortschrittliche Prozessleitsystem, das eine präzise Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit in der gesamten Kammer gewährleistet. Dies ist entscheidend für die Erzielung konsistenter und wiederholbarer Ergebnisse in Diffusionsprozessen, bei denen schon geringe Temperaturschwankungen die Leistung der Geräte beeinträchtigen können. Der Ofenraum von CX-3000 ist aus hochwertigen Materialien aufgebaut, die den rauen Prozessbedingungen für Diffusionsprozesse standhalten können. Die Kammer kann Temperaturen von bis zu 1200 Grad Celsius erreichen, wodurch sie für eine Vielzahl von Diffusionsprozessen geeignet ist, einschließlich Phosphor, Bor und Arsen-Dotierungsdiffusion. Eines der Hauptmerkmale von CX3000 ist seine Fähigkeit, mehrere Prozessgase zu unterstützen, was ein hohes Maß an Prozessflexibilität ermöglicht. Das Gerät ist mit separaten Gasleitungen für verschiedene Prozessgase sowie präzisen Durchflussreglern ausgestattet, die genaue Gasförderraten gewährleisten. So können Anwender problemlos zwischen verschiedenen Prozessrezepten wechseln, ohne dass eine umfangreiche Neukonfiguration erforderlich ist. KOKUSAI CX-3000 verfügt auch über eine umfassende Sicherheitsmaschine, die kritische Prozessparameter überwacht und das Werkzeug im Fehler- oder anormalen Zustand automatisch abschalten kann. Dies schützt sowohl die Anlage als auch den Betreiber vor potenziellen Sicherheitsrisiken und gewährleistet ein hohes Maß an Zuverlässigkeit und Betriebszeit. Neben der erweiterten Prozesssteuerung bietet KOKUSAI CX3000 auch eine Reihe von Zubehörteilen, die seine Funktionalität weiter verbessern. Dazu gehören ein Lastschloßmodell für die Waferübertragung, eine schnelle Kühleinrichtung für eine schnelle Prozesswende und ein Quarzrohrreinigungssystem für eine einfache Wartung. CX-3000 ist benutzerfreundlich und einfach zu bedienen, mit einer intuitiven Touchscreen-Oberfläche, mit der Benutzer Prozessparameter einfach überwachen und anpassen können. Das Gerät verfügt auch über Fernüberwachungs- und Steuerungsfunktionen, mit denen Benutzer von einem entfernten Standort aus auf die Maschine zugreifen und diese steuern können. Insgesamt ist CX3000 ein vielseitiger und zuverlässiger Diffusionsofen, der die fortschrittliche Prozesssteuerung und Flexibilität bietet, die für die heutige Halbleiterindustrie erforderlich ist. Die robuste Konstruktion, die fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale und das Zubehörsortiment machen es zu einem wertvollen Werkzeug für Forschung und Produktion.
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