Gebraucht KOKUSAI CX-3000 #293762990 zu verkaufen
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ID: 293762990
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Diffusion furnace, 12"
P/N: DD-1223V
Process: BIO
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 208V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase
2005 vintage.
KOKUSAI CX3000 ist ein hochentwickelter und vielseitiger Diffusionsofen, der den Anforderungen der Halbleiterindustrie an eine präzise und effiziente thermische Verarbeitung von Siliziumscheiben gerecht wird. Diese hochmoderne Ausrüstung bietet eine breite Palette von Funktionen und Funktionen, die es ideal für Anwendungen in der Hochvolumen-Halbleiterherstellung machen. Herzstück von KOKUSAI CX-3000 ist seine robuste und zuverlässige Diffusionskammer, die in der Lage ist, eine große Anzahl von Wafern gleichzeitig zu handhaben. Die Kammer ist aus hochwertigen Materialien aufgebaut, die beständig gegen die rauen Bedingungen der Hochtemperatur-Thermobearbeitung sind. Dadurch wird sichergestellt, dass die Wafer einer gleichmäßigen und kontrollierten Wärmebehandlung für eine optimale Diffusionsleistung unterzogen werden. Eines der Hauptmerkmale von CX3000 ist sein fortschrittliches Heizsystem, das aus mehreren Heizelementen besteht, die strategisch in der gesamten Kammer platziert sind. Diese Heizelemente können individuell gesteuert werden, um präzise und gleichmäßige Heizprofile über die gesamte Waferoberfläche bereitzustellen. Auf diese Weise kann das Gerät eine breite Palette von thermischen Verarbeitungsparametern aufnehmen, einschließlich Hoch- und Herunterfahrgeschwindigkeiten, Einweichzeiten und Spitzentemperaturen. Neben seiner fortschrittlichen Heizmaschine verfügt CX-3000 auch über ein ausgeklügeltes Gasförderwerkzeug, das eine präzise Kontrolle der Atmosphäre innerhalb der Diffusionskammer ermöglicht. Diese Ressource ist in der Lage, eine breite Palette von Prozessgasen, wie Dotierstoffgase und Inertgase, mit genau geregelten Durchflussraten zu liefern. Dadurch wird sichergestellt, daß die Wafer exakt den für den Diffusionsprozeß erforderlichen Gasgemischen ausgesetzt werden. KOKUSAI CX3000 ist zudem mit einem umfassenden Temperaturüberwachungs- und Regelungsmodell ausgestattet, das die Temperatur der Wafer während der Verarbeitung kontinuierlich überwacht. Diese Ausrüstung verwendet hochgenaue Thermoelemente und Pyrometer, um Echtzeit-Feedback zum Temperaturprofil der Wafer zu liefern, so dass On-the-Fly-Anpassungen möglich sind, um konsistente und reproduzierbare Ergebnisse zu gewährleisten. Um die Leistung und Vielseitigkeit von KOKUSAI CX-3000 weiter zu verbessern, stehen eine Reihe von Zubehör und Optionen zur Verfügung. Dazu gehören verschiedene Wafer-Handling-Systeme, wie automatisierte Wafer-Lader und Entlader, sowie fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware, die die Anpassung von thermischen Verarbeitungsrezepten ermöglicht. Insgesamt ist CX3000 ein hochmoderner Diffusionsofen mit beispielloser Leistung, Zuverlässigkeit und Flexibilität für Halbleiterhersteller. Ob für Serien- oder Forschungs- und Entwicklungsanwendungen, dieses System wurde entwickelt, um präzise und konsistente Ergebnisse für eine Vielzahl von thermischen Verarbeitungsanforderungen zu liefern. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und Fähigkeiten machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für jede Halbleiterherstellungsanlage, die höchste Waferqualität und Prozesseffizienz erreichen möchte.
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