Gebraucht KOKUSAI CX-3000 #293763025 zu verkaufen
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ID: 293763025
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1206VN-DM
Process: Nitride
Power supply: 120 V, Single phase / 480 V, 3 Phase
2005 vintage.
KOKUSAI CX-3000 ist ein hochmoderner Diffusionsofen für fortgeschrittene Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Dieser Ofen ist ein wichtiges Werkzeug bei der Herstellung von Halbleitern, da er eine präzise Steuerung des Diffusionsprozesses ermöglicht und für konsistente und zuverlässige Ergebnisse sorgt. KOKUSAI CX3000 wird von KOKUSAI Electric, einem führenden Anbieter von Halbleiterherstellungsgeräten, hergestellt. Zu den wichtigsten Merkmalen von CX-3000 gehören eine Hochtemperatur-Prozesskammer, eine fortschrittliche Gaszufuhrausrüstung und umfassende Prozessüberwachungsfunktionen. Die Prozesskammer ist so ausgelegt, dass sie hohen Temperaturen standhält und die Diffusion von Dotierstoffmaterialien in die Halbleiterscheibe ermöglicht. Die Kammer ist mit Heizelementen und Temperatursensoren ausgestattet, um eine gleichmäßige Erwärmung und eine präzise Kontrolle der Prozessparameter zu gewährleisten. Das Gasfördersystem von CX3000 ist in der Lage, eine Vielzahl von Dotierstoffgasen und Trägergasen mit hoher Präzision und Genauigkeit zu liefern. Diese Einheit ist wesentlich für die Steuerung des Dotierungsprofils der Halbleiterscheibe, die die elektrischen Eigenschaften der Endeinrichtung bestimmt. Die Gasfördermaschine ist darauf ausgelegt, Kontaminationen zu minimieren und die Reinheit der Prozessgase zu gewährleisten, was für die Erzielung hochwertiger Ergebnisse entscheidend ist. KOKUSAI CX-3000 ist auch mit fortschrittlichen Prozessüberwachungsfunktionen ausgestattet, einschließlich Temperaturüberwachung, Gasflussüberwachung und Drucküberwachung. Diese Funktionen ermöglichen es den Betreibern, die Prozessparameter in Echtzeit genau zu überwachen und bei Bedarf Anpassungen vorzunehmen, um eine optimale Prozessleistung zu gewährleisten. Der Ofen ist auch mit Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um Bediener und Ausrüstung bei Auffälligkeiten während des Prozesses zu schützen. In Bezug auf die Leistung bietet KOKUSAI CX3000 einen hohen Durchsatz und eine hohe Prozesseffizienz und ist somit ideal für die Herstellung von hochvolumigen Halbleitern. Der Ofen ist in der Lage, mehrere Wafer gleichzeitig zu verarbeiten, die Produktivität zu erhöhen und die Zykluszeiten zu reduzieren. Die präzise Steuerung der Prozessparameter führt auch zu einer hohen Prozesswiederholbarkeit und Ausbeute, wodurch konsistente und zuverlässige Produktionsergebnisse gewährleistet werden. Darüber hinaus ist CX-3000 auf einfache Bedienung und Wartung ausgelegt, mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche und einem intuitiven Steuerungstool. Der Ofen ist mit Software-Tools zur Prozessrezeptentwicklung, Datenanalyse und Leistungsoptimierung ausgestattet. Wartungsaufgaben werden durch einfachen Zugriff auf Schlüsselkomponenten und regelmäßige Diagnoseprüfungen vereinfacht. Abschließend ist CX3000 ein hochmoderner Diffusionsofen, der erweiterte Fähigkeiten für Halbleiterverarbeitungsanwendungen bietet. KOKUSAI CX-3000 bietet mit seiner Hochtemperatur-Prozesskammer, fortschrittlichen Gaslieferanlagen und umfassenden Prozessüberwachungsfunktionen eine präzise Kontrolle über den Diffusionsprozess, was zu hochwertigen und zuverlässigen Halbleiterbauelementen führt. Der hohe Durchsatz, die Effizienz und die Benutzerfreundlichkeit machen es zu einem wertvollen Werkzeug für Halbleiterhersteller, die in ihren Produktionsprozessen überlegene Ergebnisse erzielen möchten.
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