Gebraucht KOKUSAI CX-3000 #293763084 zu verkaufen

KOKUSAI CX-3000
ID: 293763084
Wafergröße: 8"
Diffusion furnace, 8" Part number: DJ-1206VN-DM Main controller: CX3001 Process: Nitride Power supply: 120 V, Single phase / 208 V, 3 Phase.
KOKUSAI CX-3000 ist ein modernster Verbreitungsbrennofen und für Hochleistungshalbleiterfertigungsverfahren entworfenes Begleitzubehör. Diese moderne Ausrüstung bietet eine überlegene Kontrolle über Temperatur, Gasfluss und Prozessbedingungen, um präzise und reproduzierbare Ergebnisse bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen zu gewährleisten. Kern von KOKUSAI CX3000 ist der Diffusionsofen selbst, eine Hochtemperaturkammer, die Wafer auf Temperaturen bis zu 1200 Grad Celsius erwärmen kann. Dieser Ofen ist mit mehreren Heizzonen ausgestattet, um eine gleichmäßige Temperaturverteilung über die Waferoberfläche zu gewährleisten, die für konsistente und zuverlässige Diffusionsprozesse unerlässlich ist. Der Ofen ist aus hochwertigen Materialien wie Quarzrohren und Siliziumkarbidheizelementen aufgebaut, um den hohen Temperaturen und korrosiven Gasen standzuhalten, die typischerweise in der Halbleiterverarbeitung verwendet werden. Diese robuste Konstruktion gewährleistet langfristige Zuverlässigkeit und minimale Ausfallzeiten für die Wartung. Zur Erleichterung des Diffusionsprozesses ist CX-3000 mit einem ausgeklügelten Gasfördersystem ausgestattet, das die Strömungsgeschwindigkeiten von Dotierstoffgasen, Oxidationsmitteln und Inertgasen, die für die gewünschten Diffusionsprofile benötigt werden, genau regelt. Das Gerät ermöglicht eine einfache Einrichtung und Kalibrierung der Gasdurchflussraten und gewährleistet eine genaue und wiederholbare Prozesssteuerung. Neben dem Kerndiffusionsofen verfügt CX3000 über eine Reihe von Zubehör, um seine Fähigkeiten und Flexibilität in der Halbleiterherstellung zu verbessern. Dieses Zubehör umfasst eine Wafer-Be- und Entlademaschine, einen Quarzbootlader für effiziente Wafer-Handhabung und ein Abgasminderungswerkzeug zur sicheren Entlüftung von Prozessnebenprodukten. KOKUSAI CX-3000 verfügt auch über eine fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware, mit der Benutzer den Diffusionsprozess präzise programmieren und überwachen können. Die Software bietet eine benutzerfreundliche Schnittstelle zur Einrichtung von Prozessrezepten, Überwachung von Schlüsselparametern in Echtzeit und Analyse von Prozessdaten zur Qualitätskontrolle und Optimierung. Darüber hinaus umfasst KOKUSAI CX3000 Sicherheitsfunktionen wie Übertemperaturschutz, Gaslecksuche und Notabschaltverfahren, um eine sichere Betriebsumgebung für Halbleiterherstellungspersonal zu gewährleisten. Insgesamt ist CX-3000 eine hochmoderne Diffusionsofenanlage, die branchenführende Leistung, Zuverlässigkeit und Prozesssteuerung für anspruchsvolle Halbleiterherstellungsanwendungen bietet. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen, seiner robusten Konstruktion und dem umfassenden Zubehör ist CX3000 eine ideale Wahl für Halbleiterhersteller, die qualitativ hochwertige Diffusionslösungen für ihre Produktionsanforderungen suchen.
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