Gebraucht KOKUSAI CX-3000 #293792523 zu verkaufen
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ID: 293792523
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Diffusion furnace, 12"
Part number: DD-1223V
Process: H2 Anneal
2004 vintage.
KOKUSAI CX3000 ist eine hochentwickelte Halbleiterverarbeitungsanlage, die einen Diffusionsofen mit einer Reihe von Zubehörteilen kombiniert, um eine umfassende Lösung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen zu bieten. Als führendes Werkzeug im Bereich der Halbleiterherstellung bietet KOKUSAI CX-3000 beispiellose Leistung, Zuverlässigkeit und Flexibilität, um den anspruchsvollen Anforderungen der Branche gerecht zu werden. Herzstück der CX3000 ist der Diffusionsofen, der zur Erwärmung und Verarbeitung von Siliziumscheiben ausgelegt ist, um die Diffusion von Dotierstoffatomen in das Substrat zu erleichtern. Der Ofen verfügt über eine Hochtemperaturkammer, die Temperaturen bis zu 1200 Grad Celsius erreichen kann und eine präzise Kontrolle des Diffusionsprozesses gewährleistet. Der Ofen ist mit einer Reihe von Heizelementen, Gasfördersystemen und Temperaturregelungssystemen ausgestattet, um eine einheitliche und konsistente thermische Verarbeitung über die Waferoberfläche zu ermöglichen. Neben dem Diffusionsofen umfasst CX-3000 auch eine Vielzahl von Zubehör und Subsystemen, um seine Funktionalität und Leistung zu verbessern. Dieses Zubehör kann ein Gasfördersystem, eine Vakuumpumpe, eine Temperaturregeleinheit und eine Wafer-Handhabungsmaschine umfassen. Das Gasförderwerkzeug ist entscheidend für die Bereitstellung der notwendigen Dotierstoffgase während des Diffusionsprozesses, während die Vakuumpumpe hilft, die gewünschte Bearbeitungsumgebung innerhalb der Ofenkammer zu schaffen. Die Temperaturkontrolle von KOKUSAI CX3000 spielt eine entscheidende Rolle bei der Gewährleistung der Genauigkeit und Stabilität des Diffusionsprozesses. Durch die Überwachung und Einstellung der Temperatur der Ofenkammer in Echtzeit trägt das Temperiermodell dazu bei, das gewünschte Dotierstoffprofil und Diffusionseigenschaften auf der Waferoberfläche zu erreichen. Diese Temperaturregelung ist für die Herstellung hochwertiger und zuverlässiger Halbleiterbauelemente mit konsistenten Leistungseigenschaften unerlässlich. Darüber hinaus ermöglicht die Wafer-Handling-Ausrüstung von KOKUSAI CX-3000 das automatisierte Be- und Entladen von Silizium-Wafern in den Diffusionsofen und gewährleistet eine effiziente und nahtlose Verarbeitung. Das Wafer-Handhabungssystem kann Roboterarme, Waferträger und Ausrichtmechanismen aufweisen, um Wafer sicher in und aus dem Ofenraum zu transportieren. Dieses Merkmal verbessert nicht nur den Gesamtdurchsatz der Einheit, sondern reduziert auch die Gefahr von Wafer-Verschmutzungen oder -Schäden bei der Handhabung. In puncto Performance zeichnet sich CX3000 durch präzise und wiederholbare Diffusionsprozesse für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen aus. Seine fortschrittlichen Steuerungsalgorithmen, Echtzeit-Überwachungsfunktionen und anpassbaren Prozessrezepte ermöglichen es Halbleiterherstellern, eine enge Kontrolle über die Dotierstoffkonzentration, die Diffusionstiefe und die Verbindungsprofile auf den Siliziumscheiben zu erzielen. Diese Prozesssteuerung ist wesentlich für die Herstellung komplexer Halbleiterbauelemente mit kritischen Leistungsspezifikationen. Insgesamt setzt CX-3000 einen neuen Standard in der Diffusionsofentechnologie, indem es eine umfassende Lösung für die Halbleiterverarbeitung anbietet. KOKUSAI CX3000 ist mit seinen fortschrittlichen Funktionen, leistungsstarken Funktionen und seinem robusten Design ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug für Halbleiterhersteller, die hohe Erträge, eine präzise Prozesssteuerung und eine konsistente Geräteleistung erzielen möchten.
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