Gebraucht KOKUSAI CX-5000 #293762572 zu verkaufen
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ID: 293762572
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1206VN-DF
Process: TiN
Main controller: KDSC
Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase
2010 vintage.
KOKUSAI CX-5000 ist ein Diffusionsofen und Zubehör speziell für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt. Es bietet eine hohe Effizienz und Präzision für den Einsatz bei der Herstellung hochkomplexer Geräte. CX-5000 basiert auf einer vertikalen Diffusionsofenkonstruktion, die einen optimalen Bereich von Temperaturprofilen für die Herstellung von Halbleiterbauelementen bietet. Der modulare Aufbau ermöglicht die Anwendung von Nieder- und Hochtemperaturoperationen und bietet gleichzeitig ein hervorragendes Maß an Sicherheit und Kontrolle. Darüber hinaus verfügt der Ofen über eine Vielzahl von Ofenzubehör, die erhöhte Automatisierung und Präzision bieten. Der Ofen ist mit einem Zweizonenregler für Hochtemperatur- und Tieftemperaturprozesse ausgestattet. Dies bietet dem Anwender eine größere Bandbreite an Verarbeitungsfähigkeiten sowie eine präzise Kontrolle der Verarbeitungsbedingungen. Der Ofen ist zudem mit einer Sicherheitsabsperrung ausgestattet, die aktiviert werden kann, wenn die Temperaturen vorgegebene Grenzen überschreiten. Dies sorgt für Betriebssicherheit und verhindert eine Überhitzung von Bauteilen. KOKUSAI CX-5000 wurde entwickelt, um Strukturen von 0,2 bis 0,6 Mikrometer Dicke zu unterstützen, so dass es eine ideale Wahl für die Herstellung von kleineren Geräten mit eng kontrollierten thermischen Profilen. Das Gerät ist mit einem integrierten Mehrzonen-Taktsystem ausgestattet, das eine präzise Taktung und Synchronisation von Implantatprozessen ermöglicht. Darüber hinaus können CX-5000 mit programmierbaren Start- und Endtemperatureinstellungen vollautomatisiert werden, so dass über zahlreiche Substrate hinweg konsistente, wiederholbare Ergebnisse erzielt werden können. Das Gerät ist mit fortschrittlichen Funktionen wie einer automatischen Gasströmungsmaschine, die für optimale Temperaturgleichförmigkeit sowie Druckregelung und Spülregelung konfiguriert werden kann, gebaut. Weitere Funktionen sind der Zugriff auf Fernüberwachung und -steuerung über Ethernet- und RS-232-Schnittstellen sowie die PC-basierte Datenprotokollierung. Schließlich ist KOKUSAI CX-5000 darauf ausgelegt, die notwendige Flexibilität für verschiedenste Produktionsprozesse zu bieten. CX-5000 verwendet eine Vielzahl von Materialien wie Quarz, SiC, SiNx und Polysilazane, die für die Anpassung und Prozessoptimierung programmiert werden können. KOKUSAI CX-5000 unterstützt eine breite Palette von steuerbaren Parametern und bietet Prozessingenieuren eine breite Palette von Optionen für die Anpassung. Damit ist sie eine ideale Wahl für die Herstellung komplexer Geräte.
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