Gebraucht KOKUSAI CX-5000 #293762574 zu verkaufen
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ID: 293762574
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1206VN-DF
Process: TiN
Main controller: KDSC
Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase
2011 vintage.
KOKUSAI CX-5000 ist ein Diffusionsofen und Zubehör für die fortschrittliche thermische Verarbeitung, einschließlich Diffusion. Diese Ofenausrüstung ist ideal für Anwendungen wie Siliziumabscheidung und silikonisierte Epitaxie. CX-5000 verfügt über umfassende Wärmebearbeitungsfunktionen aus Metall und ist in der Lage, Hochdurchsatzprozesse mit enger Temperatur- und Zeitkontrolle abzuschließen. Das Herzstück von KOKUSAI CX-5000 ist der vertikale Quarzheißwandofen. Dieser Ofen verfügt über eine elektromagnetisch gesteuerte IR-Strahlungsheizung, die eine präzise Temperatur- und Prozessregelung ermöglicht. Die Plattform ist für maximalen Prozessdurchsatz konzipiert, mit einer schnellen thermischen Zykluszeit und Temperaturgleichförmigkeit von bis zu 1-2 ° C über den Wafer. CX-5000 ist auf Flexibilität ausgelegt und kann einfach an jede Art von Diffusionsprozess oder Schichtübertragung angepasst werden. Fünf Arten von Siliziumsubstrat können für die Diffusion verwendet werden, und das System kommt auch mit einer integrierten Gasinjektoreinheit für Gasdoping und CVD. Eine hocheffiziente und benutzerfreundliche Software-Suite ist im Lieferumfang enthalten. Auf diese Weise können Forscher die Maschine aus der Ferne programmieren und überwachen, so dass keine manuelle Steuerung und Beobachtung erforderlich ist. KOKUSAI CX-5000 ist voll kompatibel mit dem EXPERT-Tool von JGRC (Experimental Pattern Routing Asset), mit dem Benutzer ein experimentelles Design zur automatischen Ausführung an den Ofen senden können. CX-5000 verfügt über eine Vielzahl weiterer Sicherheits- und Komfortfunktionen für die fortschrittliche thermische Verarbeitung, darunter automatisierte Selbstdiagnose, EMI und RoHS-zertifizierte Komponenten und eine integrierte thermische Abschaltung. Insgesamt ist KOKUSAI CX-5000 ein hochmoderner Diffusionsofen und Zubehör, der für optimale Genauigkeit und Zuverlässigkeit für eine fortschrittliche thermische Verarbeitung entwickelt wurde. Es ist ideal für diejenigen, die eine genaue Temperatur- und Zeitkontrolle benötigen, sowie Anwender, die den Prozessdurchsatz und die Flexibilität maximieren möchten.
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