Gebraucht KOKUSAI CX-5000 #293762973 zu verkaufen
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ID: 293762973
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1206VN -DF
Process: TiN
Main controller: KDSC
Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase
2010 vintage.
KOKUSAI CX-5000 ist ein Diffusionsofen und Zubehörpaket, das für Hochleistungs-Dünnschichtabscheidungen und Glühfähigkeiten entwickelt wurde. Es ist eine vielseitige Ausrüstung mit ausgezeichneter Temperaturkontrolle und Genauigkeit sowie einfach zu bedienenden Bedienelementen. Das Gerät bietet auch eine große Palette von vorprogrammierten Temperaturen für eine breite Palette von Folienabscheidungen und Prozessanwendungen. CX-5000 besteht aus einer Hochleistungs-Dünnschichtabscheidekammer und einer Hochtemperatur-Glühkammer. Die Filmabscheidekammer ist zur Abscheidung von Oxid-, Nitrid- und Metallfilmen auf verschiedenen Substraten ausgebildet. Die Kammer verfügt über ein ultra-hohes Vakuumniveau von 10-5torr und eine energieeffiziente elektro-thermische Quarzheizung und Widerstandsheizsystem. Es weist außerdem eine eingebaute Gasdurchführungseinheit zur Reaktivgaseinleitung während des Abscheidungsprozesses auf. Die Glühkammer ist für höhere Temperaturprozesse ausgelegt, typischerweise bis zu 1350℃. Es bietet einen zweistufigen Heizprozess, der einen schärferen Temperaturanstieg und -abfall sowie eine ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. Die Abschreckmaschine verfügt zudem über einen automatischen Deckelöffner/Schließer und eine Reihe vorprogrammierter Abkühlzeiten. KOKUSAI CX-5000 verfügt auch über ein komplettes Zubehör, einschließlich Ladeschleusen, Prozessregler und Gaszufuhrsysteme. Die Lastschlösser sind so ausgelegt, dass sie einen schnellen Substratwechsel zwischen den Kammern ermöglichen. Dies reduziert die Abtastzeit, so dass der Bediener Proben schnell wechseln und die Prozesszeit reduzieren kann. Die Prozessregler sind für eine präzise Temperatur- und Zeitsteuerung des Prozesses ausgelegt. Dadurch kann der Bediener die Prozessgrößen wie Temperaturanstiegsgeschwindigkeit, Abscheidezeit und Glühzeit einfach programmieren und überwachen. Darüber hinaus umfasst CX-5000 eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten. Die Sicherheitsschaltungen umfassen beispielsweise einen Übertemperaturabschalter und Alarme für Überstrom und Überdruck. Darüber hinaus ist das Gerät auch mit mehreren Sicherheitsverriegelungen ausgestattet, um unerwartete Auslaufprozesse zu verhindern. Insgesamt ist KOKUSAI CX-5000 eine zuverlässige, robuste Diffusions- und Glühkammer mit der Flexibilität, eine breite Palette von Folienabscheidungs- und Glühprozessen durchzuführen.
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