Gebraucht KOKUSAI CX-5000 #293763006 zu verkaufen

KOKUSAI CX-5000
ID: 293763006
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1206VN -DF Process: TiN Main controller: KDSC Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase 2010 vintage.
KOKUSAI CX-5000 ist ein hochmoderner Diffusionsofen und das dazugehörige Zubehör der KOKUSAI Semiconductor Equipment Corporation. Diese innovative Plattform bietet fortschrittliche Fähigkeiten für die präzisen und effizienten Diffusionsprozesse, die in der Halbleiterherstellung erforderlich sind. CX-5000 wurde entwickelt, um die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie durch ein hohes Maß an Leistung, Zuverlässigkeit und Flexibilität zu erfüllen. Kern der KOKUSAI CX-5000 Ausrüstung ist der Diffusionsofen selbst, der eine Schlüsselkomponente für die thermische Verarbeitung von Siliziumscheiben ist. Dieser Ofen wurde entwickelt, um eine präzise Temperaturregelung, eine gleichmäßige Wärmeverteilung und einen kontrollierten Gasfluss bereitzustellen, um optimale Diffusionsergebnisse zu erzielen. Die Ofenkammer besteht aus hochwertigen Materialien, die hohen Temperaturen und korrosiven Gasen standhalten und eine langfristige Haltbarkeit und Zuverlässigkeit gewährleisten. CX-5000 Ofen verfügt über fortschrittliche Heizelemente, die schnelle Heiz- und Kühlzyklen ermöglichen und eine effiziente Verarbeitung von Wafern ermöglichen. Das System ist mit mehreren Heizzonen ausgestattet, die unabhängig gesteuert werden können, um kundenspezifische thermische Profile für unterschiedliche Prozessanforderungen zu erstellen. Diese Steuerung ermöglicht eine präzise Abstimmung der Diffusionsprozessparameter, um das gewünschte Dotierstoffprofil und die Übergangstiefe im Halbleiterbauelement zu erreichen. Die Ofenkammer ist für verschiedene Wafergrößen ausgelegt, von Wafern mit kleinem Durchmesser, die in Forschung und Entwicklung verwendet werden, bis hin zu größeren Wafern, die häufig in Produktionsumgebungen verwendet werden. Diese Flexibilität ermöglicht es Halbleiterherstellern, verschiedene Arten von Wafern auf derselben Plattform zu verarbeiten, wodurch der Bedarf an mehreren Bearbeitungswerkzeugen reduziert und Produktionsprozesse gestrafft werden. Neben der Ofenkammer umfasst die KOKUSAI CX-5000 eine Reihe von Zubehör und Peripheriegeräten, die ihre Fähigkeiten und Funktionalität verbessern. Dieses Zubehör kann Gasfördersysteme, Vakuumpumpen, Wafer-Handling-Roboter und Prozessüberwachungswerkzeuge umfassen. Die Gasfördermaschine gewährleistet eine genaue und kontrollierte Zufuhr von Dotierstoffgasen in den Ofenraum, während die Vakuumpumpe das für den Diffusionsprozess erforderliche Vakuumniveau aufrechterhält. Der Wafer Handling Roboter automatisiert das Be- und Entladen von Wafern in den Ofenraum, wodurch das Risiko von Verschmutzungen reduziert und die gesamte Prozesseffizienz verbessert wird. Der Roboter ist mit fortschrittlichen Sensoren und Steuerungssystemen ausgestattet, um eine präzise Positionierung und Ausrichtung von Wafern während der Verarbeitung zu gewährleisten. Prozessüberwachungswerkzeuge wie Temperatursensoren, Gasdurchflussmesser und Manometer liefern Echtzeitdaten zu den Prozessparametern, um eine kontinuierliche Überwachung und Einstellung des Diffusionsprozesses zu ermöglichen. Dieser datengesteuerte Ansatz gewährleistet konsistente und reproduzierbare Ergebnisse, was zu höheren Produkterträgen und einer verbesserten Qualitätskontrolle führt. Insgesamt bieten CX-5000 Diffusionsofen und das dazugehörige Zubehör Halbleiterherstellern eine zuverlässige und leistungsstarke Lösung für ihre thermischen Verarbeitungsbedürfnisse. Die fortschrittlichen Funktionen, die präzisen Steuerungsfunktionen und die Flexibilität machen es zu einem wertvollen Werkzeug, um optimale Diffusionsergebnisse in Halbleiterherstellungsprozessen zu erzielen. Mit KOKUSAI CX-5000 können Halbleiterhersteller eine verbesserte Prozesseffizienz, geringere Betriebskosten und eine verbesserte Produktqualität erwarten, was letztlich zu einem Wettbewerbsvorteil in der sich rasch entwickelnden Halbleiterindustrie führt.
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