Gebraucht KOKUSAI CX-5000 #293763015 zu verkaufen

KOKUSAI CX-5000
ID: 293763015
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1206VN -DF Process: SI3N4 Main controller: KDSC Power supply: 120 V, Single phase / 480 V, 3 Phase 2010 vintage.
KOKUSAI CX-5000 ist ein hochmoderner Diffusionsofen für die präzise, gleichmäßige und effiziente Diffusion von Dotierstoffen in Siliziumsubstrate für die Halbleiterherstellung. Dieser fortschrittliche Ofen ist mit einer Reihe von Funktionen und Zubehör ausgestattet, die eine thermische Hochtemperaturverarbeitung mit außergewöhnlicher Kontrolle und Zuverlässigkeit ermöglichen. Herzstück von CX-5000 ist ein Hochleistungsquarzrohrofen, der eine stabile und homogene thermische Umgebung für Dotierstoffdiffusionsprozesse bietet. Der Ofen kann Temperaturen bis zu 1200 ° C erreichen, was eine präzise Steuerung von Dotierungsaktivierungs- und Diffusionsprofilen im Siliziumsubstrat ermöglicht. Das Quarzrohr ist entworfen, um thermischen Schocks und chemischen Angriffen zu widerstehen, um langfristige Leistung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. KOKUSAI CX-5000 ist mit einer ausgeklügelten Temperaturregeleinrichtung ausgestattet, mit der Benutzer die Ofentemperatur mit hoher Präzision programmieren und überwachen können. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur über das Ofenrohr wird innerhalb enger Toleranzen eingehalten, wodurch konsistente und reproduzierbare Diffusionsergebnisse gewährleistet werden. Der Ofen verfügt auch über schnelle Heiz- und Kühlfunktionen, die schnelle Prozesszyklen und einen hohen Durchsatz in der Halbleiterherstellung ermöglichen. Zur Verbesserung des Diffusionsprozesses ist CX-5000 mit einer Reihe von Gasförder- und Mischsystemen ausgestattet, die eine präzise Steuerung von Dotierstoffgasen und Trägergasen ermöglichen. Das System ist in der Lage, eine Vielzahl von Dotierstoffarten, einschließlich Phosphor, Bor und Arsen, mit hoher Reinheit und Stabilität zu handhaben. Die Gasdurchflussraten und Mischungsverhältnisse lassen sich leicht einstellen, um die Dotierbedingungen für spezifische Halbleiterbauelementanwendungen zu optimieren. Neben der Kernofeneinheit verfügt KOKUSAI CX-5000 über ein umfassendes Zubehör und Optionen, die seine Leistung und Vielseitigkeit weiter verbessern. Dieses Zubehör umfasst eine Lastschloßmaschine zum automatisierten Be- und Entladen von Wafern, ein Vakuumpumpenwerkzeug zur präzisen Druckregelung sowie eine Reihe von Prozessüberwachungs- und Steuerungswerkzeugen zur Echtzeitanalyse des Diffusionsprozesses. Einer der Hauptvorteile von CX-5000 ist die fortschrittliche Prozesssteuerung und Automatisierung. Der Ofen ist kompatibel mit branchenüblicher Prozesssteuerungssoftware, die eine nahtlose Integration in die Arbeitsabläufe der Halbleiterherstellung ermöglicht. Das Asset kann je nach den spezifischen Anforderungen der Anwendung einfach für die Stapelverarbeitung oder Einzelwafer-Verarbeitung konfiguriert werden. Insgesamt stellt KOKUSAI CX-5000 eine hochmoderne Lösung für die Dotierungsdiffusion in der Halbleiterherstellung dar, die außergewöhnliche Leistung, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit bietet. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und Zubehör bietet dieser Diffusionsofen Halbleiterherstellern die Werkzeuge, die sie benötigen, um präzise und einheitliche Dotierungsprofile für eine breite Palette von Halbleiterbauelementen zu erreichen.
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