Gebraucht KOKUSAI CX3000 #9291189 zu verkaufen

KOKUSAI CX3000
ID: 9291189
Wafergröße: 12"
Furnaces, 12" P/N:DD-1223VN Process: BIO.
KOKUSAI CX3000 ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör, der speziell für die Verarbeitung von Halbleitern entwickelt wurde. Es ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen einschließlich Power-Device-Materialien, Abscheidung von dünnen Schichten, Abscheidung von Passivierungsschichten, Metallisierung, Oxidation, Glühen, Dotieren und andere spezielle Prozessanwendungen. KOKUSAI CX-3000 bietet eine beispiellose Diffusionsgeschwindigkeit und Gleichmäßigkeit aufgrund seines Hochleistungspaares von externen linearen Zonenheizungen, die eine hohe Produktivität und Gleichmäßigkeit ermöglichen. CX3000 verfügt über zwei unabhängige Heizeinheiten auf vier verschiedenen Ebenen, mit bis zu drei Zonen pro Einheit, mit einer Gesamtheißzonenlänge von etwa 50 mm. CX-3000 verfügt auch über ein computergesteuertes Prozessleitsystem, das eine präzise Steuerung von Zeit-, Temperatur- und Gasströmen ermöglicht. Die fortschrittliche KOKUSAI CX3000 verfügt über mehrschichtige Diffusionskammerwände, die eine hervorragende Wärmedämmung für einen schnelleren, gleichmäßigen Wärmeübergang und ein sanftes Temperaturrampen bieten, was für den Schutz empfindlicher Substrate entscheidend ist. KOKUSAI CX-3000 verfügt zudem über ein innovatives Wafer-Lift-System, das die Waferbeladung mit automatisierten Ladeprogrammen sowie manuelle Beladung für Flexibilität vereinfacht. CX3000 ist für maximale Sicherheit und Leistung ausgelegt, mit Überhitzungsschutz, Auspuffautostopp und Sicherheitsventilen und vollständiger thermischer Regelung. Der Ofen verfügt auch über erweiterte Temperaturmess- und Prozesskontrollsysteme, die sichere und reproduzierbare Aufkohlungsergebnisse gewährleisten. CX-3000 ist extrem leise, mit einem Geräuschpegel von weniger als 68 dB und kann Temperaturen bis zu 2.000 ° C erreichen. Dies macht es perfekt für die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien, von Low-K-Dielektrika bis zu Poly-Si-Emitter-Materialien. Es eignet sich auch für den Betrieb in Reinraumumgebungen, dank seiner geringen Emissionen und der staubfreien Abscheidung. Abschließend ist KOKUSAI CX3000 ein leistungsstarker Diffusionsofen und Zubehör, entworfen, um die höchste Qualität der Leistung, Sicherheit und Zuverlässigkeit zu bieten. Es ist für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, die von Power-Device-Materialien bis zur Dünnschichtabscheidung reichen. Die fortschrittlichen Wärmesteuerungssysteme und mehrstufigen Heizgeräte machen es ideal für gleichmäßige Aufkohlungs- und Glühprozesse mit hoher Geschwindigkeit und Wiederholbarkeit.
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