Gebraucht KOKUSAI CX3000 #9291199 zu verkaufen

KOKUSAI CX3000 ist ein Diffusionsofen zur Optimierung der Dotierung oder Bindung von Substraten in einer Reihe von Halbleiterprozessen. Als thermischer Diffusionsofen verfügt KOKUSAI CX-3000 über eine Einzonen-Heizkammer und eine heiße Zone, die für Silizium- oder Verbundhalbleiterbauelemente verwendet werden kann. Diese beiden Zonen bieten eine präzise und zuverlässige Kontrolle von Temperatur und Atmosphäre, um unterschiedliche Materialien für die Abscheidung von Folien, Verdünnung oder Verklebung von Wafern und anderen wichtigen Prozessen aufzunehmen. Der Ofen hat eine äußere Abmessung von L1400xW700xH1715mm, während die inneren Abmessungen L1,100mm x W600mm x H1430mm messen. Es besteht aus Quarz oder anderem Material und hat einen Temperaturbereich von 200-1020 ° C mit einer Auflösung von ± 2 ° C. CX3000 Ofen kann auch eine maximale Temperatur von 1.160 ° C für schnelle Glühprozesse erreichen. Die Temperatur kann auch programmiert werden, um eine Vielzahl von thermischen Streifen zu akzeptieren. CX-3000 Öfen haben eine verstellbare Basis sowie eine austauschbare Deckplatte, die beide für die meisten Operationen konfiguriert werden können. Darüber hinaus verfügt es über eine Vielzahl von optionalem Zubehör wie Luftrutsche, motorisierte Türen, unterschiedlich positionierte Heizungen und Gebläse. Es verfügt auch über ein leistungsstarkes motorgetriebenes Gebläse, das bei schnellerer Erwärmung und Kühlung der Innenkammer hilft. KOKUSAI CX3000 Ofen ist mit narrensicheren Kontrollsystemen wie PID-Autotuning-Systemen ausgestattet, die helfen, die Temperatur während des gesamten Diffusionsprozesses konstant zu halten. Dies verhindert Zeit- und Materialverschwendung durch plötzliche Temperaturänderungen. Die Gaseinheit des Ofens und das wassergekühlte Magnetventil steuern den Gasein- und -ausfluss, wodurch die höchste Gleichmäßigkeit innerhalb und außerhalb der Kammer erreicht wird. Das System verfügt auch über eingebettete Software und Hardware, die minimale Störungen während des Betriebs gewährleistet. KOKUSAI CX-3000 Diffusionsöfen verfügen über die neueste Quarzkristalltechnologie der nächsten Generation und können für verschiedene Prozesse wie Ionenimplantation, Oxidation, Glühen und regenerative Dotierung verwendet werden. Der Ofen eignet sich sowohl für die kleinere Produktion als auch für die fortschrittlichere und komplexere photovoltaische und mikroelektronische Produktion. Es eignet sich für eine Vielzahl verschiedener Materialien wie Silizium, Galliumarsenid, Indiumphosphid und Nitrid-Halbleiter.