Gebraucht KOKUSAI DD-803V #293589150 zu verkaufen
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KOKUSAI DD-803V ist ein Diffusionsofen und Zubehörpaket für die Handhabung von großflächigen Halbleiterprozessen. Es ist mit einer vertikalen Hebeeinheit im Brückenstil, einer hocheffizienten Heizausrüstung und einem integrierten Kühlsystem für optimale Prozessleistung ausgestattet. Die proprietäre vertikale Hubeinheit sorgt für schnelle horizontale Richtungsänderungen und hohe Flexibilität im täglichen Betrieb. Die Ofeneinheit ist mit drei verschiedenen Zonen ausgestattet, von denen jede bis zu 6-Zoll-Substrate handhaben kann, wodurch sie große Substrate problemlos verarbeiten kann. Die Diffusionskammern sind mit hochwertigen vorkalibrierten Thermoelementen ausgestattet, die eine überlegene Kontrolle über thermische Prozesse bieten. Die Heizmaschine ist so konzipiert, dass sie schnell und gleichmäßig heizt und eine gleichmäßige Temperaturverteilung über alle Zonen gewährleistet. Der Temperaturbereich ist von Raumtemperatur bis 1.200 ° C einstellbar und die maximal zulässige Temperatur beträgt 1.275 ° C. Das integrierte Kühlwerkzeug maximiert die Nutzung des verfügbaren Kühlmittels, um die Substrate auf einer konstanten Temperatur zu halten. Der Kühlprozess wird über eine ausgeklügelte Softwareplattform verwaltet, die eine optimale Leistung gewährleistet. Für höchste Zuverlässigkeit ist die Kühlung mit einer Reihe von Düsen für eine perfekte Steuerung ausgestattet. Darüber hinaus ist KOKUSAI DD-803-V mit einem Gasstromregelungsmodell ausgestattet, das eine präzise Dosierung von inerten und reaktiven Gasen ermöglicht, die eine optimale Diffusionsleistung ermöglicht. Die Hauptsteuereinheit bietet dem Bediener eine vollständige Touchscreen-Schnittstelle für einfache Bedienung und Wartung. Darüber hinaus sind die Geräte mit SEMI S2 und anderen relevanten Sicherheitsregeln konform, was sichere und effiziente Prozesse ermöglicht. DD-803V wurde speziell für großflächige Halbleiteroperationen entwickelt und bietet eine schnelle und zuverlässige Verarbeitung für den langfristigen Einsatz. Die Vielseitigkeit der vertikalen Aufzugseinheit sorgt für überlegene Flexibilität im täglichen Betrieb und der Temperaturbereich reicht aus, um nahezu jeden Bedarf an der Substratverarbeitung zu decken. Darüber hinaus sorgt das integrierte Kühlsystem für eine effiziente Steuerung und die Gasflusssteuerung für eine präzise Dosierung. Alles in allem ist dies ein professionelles Diffusionsofen-Paket, das für Großeinsätze geeignet ist.
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