Gebraucht KOKUSAI DD-823V #293729520 zu verkaufen
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ID: 293729520
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Furnace, 8"
Paint color: Ivory
LC-750 O2 Analyzer
Cassette: Normal I/O
System main controller CX2003A
Mechanical controller CX1215-1, 1215-2
Sequence controller CX1309A
Gas controller CX2003A
Furnace temperature controller CQ1500A
Furnace overtemp detector DN-130lz3
RIKEN KEIKI GD-D8V
Detecting Gas H2
Host communication
Host computer I/F HSMS
Gas system:
Process gas: N2, H2
FUJIKIN Manual valve
FUJIKIN Air-Operated valve
MILLIPORE Filter
Yataka regulator
MFC STEC / SEC-7330, 7350, 7340
TEMTECH / TPTMV-WD420 PT Sensor
DPM TEMTECH / NPS42000P
Cassette handling:
(21) Cassette storage
(25) Wafer cassette
Fork type: 1+4 VAC
Fork wafer presence sensor
Fork variable pitch
Install option:
Gas flow chart panel
Operation panel
1995 vintage.
KOKUSAI DD-823V Diffusionsofen ist ein leistungsstarker Einzonenofen, der speziell für eine zuverlässige und effiziente thermische Verarbeitung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Dieser Ofen verfügt über ein unabhängiges Überwachungssystem für die Kammerumgebung und einen benutzerfreundlichen Programmbetrieb, der konsistente und wiederholbare Ergebnisse gewährleistet. Es ist für den Betrieb bis zu 1.400 ° C ausgelegt und enthält eine Reihe von Funktionen, die es Anwendern ermöglichen, eine zuverlässige Diffusionsverarbeitung mit der erforderlichen Präzision und Kontrolle durchzuführen. Der Ofen besteht aus einer Ofenkammer, die durch eine Hochtemperaturluftheizung beheizt und für Energieeffizienz und Sicherheit isoliert wird. Es enthält auch eine hochtemperaturmechanische Pumpe und ein geräuscharmes Gebläse zur Kühlung der Kammer und zur Steuerung des Oxidationsprozesses. Der proportionale Temperaturregler ermöglicht eine präzise Temperaturmanipulation durch ein PID-geschlossenes Kreislaufsystem und erreicht schnelle Aufheiz- und Abkühlzeiten mit hoher Stabilität und Genauigkeit. Die Atmosphäre innerhalb der Prozesskammer wird durch eine Gasstromregelung, die aus Massenstromreglern zur Steuerung des Gasstroms und einer Vakuumeinheit zur Evakuierung des Ofenraums besteht, aufrechterhalten und überwacht. Eine wassergekühlte Turbomolekularpumpe ist enthalten, um sicherzustellen, dass der Druck in der Kammer in einem akzeptablen Bereich bleibt. All diese speziellen Merkmale gewährleisten eine gleichmäßige Filmabscheidung auch in der Austrittsseite der Prozesskammer. Verschiedene Zubehörteile werden auch mit DD-823V geliefert, was zu einem Gesamtwertangebot führt. Einige dieser primären Zubehör gehören eine drehbare Duschkopfeinheit, die die Bildung von gleichmäßigen Schichten in Waferebene durch die Anwendung einer Dusche von Reaktantgas hilft, und eine Verbindungsplatte, die automatisches Be- und Entladen von Produkten ermöglicht, ohne die Prozesskammerumgebung zu beeinträchtigen. Darüber hinaus ist eine Quarz Top Load Unit enthalten, die zur Änderung der Atmosphäre verwendet wird. Schließlich ist ein Aktivkohlefilter enthalten, der die organischen Verunreinigungen in der Kammeratmosphäre wirksam eliminiert. Insgesamt ist KOKUSAI DD-823V Diffusionsofen eine zuverlässige und effiziente Diffusionsbearbeitungslösung, die eine Reihe von speziellen Funktionen und fortschrittlichem Zubehör für die Bildung einheitlicher Schichten auf Waferebene enthält. Es gewährleistet eine sichere, effiziente und wiederholbare thermische Verarbeitung von Halbleiterbauelementen bei Temperaturen von bis zu 1.400 ° C und bietet eine hohe Präzision und Kontrolle über den Prozess. Eine Reihe von nützlichen Zubehör sind enthalten, um die Wirksamkeit des Ofens weiter zu verbessern und ihm zu helfen, ein Wertangebot zu bieten.
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