Gebraucht KOKUSAI DD-823V #9286970 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9286970
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
System, 8"
Gas supply:
PCW Supply
Boat system
Load lock
(26) Carrier slots
System control:
Main controller: 0 x 3000
Touch screen
Front and rear gas flow
Temperature: CQ1600
Pressure: PCU 3000
Power supply: 1Φ 208V / 15A
Heater power: 3Φ 208V / 250A
Pump unit
Process gases:
Gas 1:
FC-986Y-BF N2 10 SLM
FC-986Y-BF N2 10 SLM
FC-985Y-BF N2 2 SLM
Gas 2:
FC-985CY-BF NO 1 SLM
Gas 3:
FC-986CY-BF N2O 20 SLM
Gas 4:
TC-FC986CY-BF O2 10 SLM
TC-FC985CY-BF O2 1 SLM
Gas 5:
FC-985CY-BF H2 500 Sccm
FC-985CY-BF H2 200 Sccm
FC-985CY-BF H2 500 Sccm
FC-985CY-BF H2 500 Sccm
FC-985CY-BF H2 200 Sccm
Gas 6:
FC-985CY-BF HCl 500 Sccm
Gas distrubution:
FUJIKIN Standard
SUS-316L Tubing material
VCR Tubing finish
FUJIKIN Manual
FUJIKIN Air operated valve
VERIFLD Regulator
AERA MFC
Exhaust distribution:
Baratron gauge
Main valve
Pump line
(24) Cassettes
(2) Input / output ports
(5) Wafer transfers
Ceramic fork material
(5) Forks
Fork variable pitch
Elevator:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical part
Heating chamber:
TC R Type: (5) Zones
(5) Spikes T/C
(5) Overtemp protectsT/C
Door interlock
Exhaust:
Heater
Gas box
Process
Missing parts:
CKD
Therno VAC TM 22
1994 vintage.
KOKUSAI DD-823V ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das sich für ein breites Anwendungsspektrum in der Halbleiterindustrie eignet. Der Ofen hat eine Kammer, die Temperaturen bis zu 1300℃ erreichen und halten kann. Dies ermöglicht die Diffusion von Gasen und verschiedenen Materialien für die Verarbeitung und andere Anwendungen. Der Ofen ist außerdem darauf ausgelegt, eine für die Anwendung geeignete Atmosphäre im Inneren der Kammer effektiv und effizient aufrechtzuerhalten. DD-823V ist mit mehreren Steuerungssystemen ausgestattet. Es verfügt über einen Makroprogrammierer zur Steuerung der Temperatur, des Gasstroms und anderer Prozesse innerhalb der Kammer. Darüber hinaus ist der Ofen auch mit Präzisionstemperaturreglern ausgestattet, um genaue und wiederholbare Temperaturprofile zu erhalten. Diese Regler bieten auch einstellbare Parameter zur Steuerung der Anstiegs- und Abfallgeschwindigkeit der Temperatur innerhalb des Ofens gemäß der Anwendungsanforderung. Der Leistungsteil des Ofens verwendet eine fortschrittliche Leistungsfaktorkorrekturtechnologie, die eine präzise Steuerung der an die Kammer gelieferten Leistung ermöglicht und die Verarbeitungsgenauigkeit weiter erhöht. Neben den Funktionen Temperaturregelung und Prozesssteuerung verfügt KOKUSAI DD-823V auch über verschiedene Sicherheitskomponenten. Dazu gehören Übertemperatur- und Oxidationsalarme sowie ein Abgasventilator, der das Verweilen von Gas in der Kammer verhindert. Der Ofen verfügt auch über eine Sicherheitstür mit einem Not-Aus-Knopf, der im Notfall die gesamte Kammerleistung abschaltet. Alle diese Komponenten sorgen dafür, dass der Ofen sicher und zuverlässig für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen ist. DD-823V kommt auch mit einer kompletten Reihe von Zubehör, die es einfach zu bedienen und zu warten. Dazu gehören ein Temperaturanzeiger, ein Hygrometer und ein Manometer zur Überwachung der Atmosphäre innerhalb der Kammer. Das Gerät umfasst auch verschiedene Ventilsteuerungssysteme und ein Quarzrohr, so dass Benutzer eine Vorschau auf den Diffusionsprozess. Schließlich stehen eine breite Palette von Adaptern und anderem Zubehör zur Verfügung, um den Ofen an externe Systeme anzuschließen. KOKUSAI DD-823V ist ein zuverlässiger, sicherer und effizienter Diffusionsofen und Zubehör, der sich für verschiedene Verarbeitungsanwendungen in der Halbleiterindustrie eignet. Seine Fähigkeit, Temperaturen bis zu 1300℃ zu erreichen und zu halten, kombiniert mit seinen zahlreichen Sicherheitsmerkmalen und Zubehör, machen es zu einer idealen Wahl für viele Verarbeitungsanforderungen.
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