Gebraucht KOKUSAI DJ-813 #141295 zu verkaufen

KOKUSAI DJ-813 ist ein Diffusionsofen und Zubehör für Waferbearbeitungsanwendungen, einschließlich Metallabscheidung und dielektrisches Ätzen. Dieser Ofen ist in der Lage, mehrere Prozesskombinationen zu kombinieren, mit beheiztem und nicht beheiztem Wafer-Handling, einer horizontalen Warmwandfähigkeit und bis zu zwei Prozessabläufen. DJ-813 ist mit einem 13-Zoll-Quarzrohr zur Diffusionsheizung und Kühlung ausgestattet. Dieses Rohr ist so ausgelegt, dass es eine gleichmäßige Temperatur bei minimaler Variation erreicht. Der Rahmen, die Temperaturzone und die Kraftzonenstruktur helfen auch, die Temperatur gleichmäßig zu halten, was es ideal für die Verarbeitung bei niedrigen Temperaturen macht. Der benachbarte Wafer-Handler ist verstellbar und kann bis zu vier Wafer gleichzeitig halten. KOKUSAI DJ-813 kann sowohl für die Metallabscheidung als auch für die dielektrische Ätzung verwendet werden. Die Controller-Software wurde entwickelt, um die Prozessbedingungen während des gesamten Ablaufs zu optimieren. Mit dem mitgelieferten analogen oder digitalen PID-Controller wird eine hohe Genauigkeitstemperaturregelung erreicht. Das Netzteil verfügt über mehrere Ausgänge und verfügt über einen Hochfrequenz-IGBT-Generator, der es ermöglicht, höhere Prozesstemperaturen bei geringem Hintergrundrauschen zu erreichen. Der Ofen enthält auch einen programmierbaren Timer, Gate-Mischer und mehrere Waferdeckel. Die Deckel bieten eine gasdichte Abdichtung für Prozesschemikalien, die Kreuzkontaminationen verhindern. Der Gate-Mischer ermöglicht eine präzise chemische Durchmischung, wodurch das Risiko einer Kontamination reduziert wird. Der Timer kann für mehrere Autostart- und Auto-Stop-Operationen programmiert werden, wodurch der manuelle Eingriff reduziert wird. Insgesamt ist DJ-813 eine Hochleistungs-Diffusionsofen und Zubehör-Suite, die in der Lage ist, Niedertemperaturverarbeitung und mehrere Prozesskombinationen. Es ist eine ideale Lösung für Waferbearbeitungsanwendungen und bietet eine schnelle und präzise Temperaturregelung, Gleichmäßigkeit und Waferbehandlung.