Gebraucht KOKUSAI DJ-835V #9309559 zu verkaufen

KOKUSAI DJ-835V ist eine Diffusionsofenanlage, die sowohl für Produktions- als auch für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen entwickelt wurde. Dieses Hochleistungssystem wurde entwickelt, um den Anforderungen vieler branchenführender Halbleiterbauelementehersteller gerecht zu werden. Diese Einheit besteht aus verschiedenen Komponenten, einschließlich Diffusionsofen und Zubehör, für gleichmäßige und präzise thermische Prozesse. Der Diffusionsofen bietet eine maximale Temperatur von 1200 ° C und eine 4-Zonen-Temperaturregelung, um eine präzise Gleichmäßigkeit der thermischen Eigenschaften während des gesamten Prozesses zu gewährleisten. Der breite Einstellbereich umfasst die thermische Hochtemperaturdiffusion, das Hochtemperaturglühen und das schnelle thermische Glühen (RTA). Der Anwender kann verschiedene Heizraten von 50 ° C bis 1000 ° C pro Minute auswählen. Die exakt geregelte Temperatur wird dann mit einer Genauigkeit von ± 2 ° C gehalten. KOKUSAI DJ 835V ist mit massiven 6.000 durch 5,000W Heizleistung ausgestattet. Verschiedene Heißzonenatmosphäre-Kontrollsysteme sind in das Gerät integriert, um eine kontrollierte Umgebung für verschiedene Arten von Geräteherstellungsprozessen bereitzustellen. Dazu gehören Stickstoff, bildendes Gas, trockener Sauerstoff und Wasserstoff. Die Kühlmaschine ist mit einem hocheffizienten Wärmeaustauschaggregat gebaut, um eine schnelle und zuverlässige Kühlung der Wafer während der Herstellung zu gewährleisten. Weitere Werkzeugkomponenten sind Hochtemperatur, wassergekühlte elektromagnetische Abschirmungen, Hochtemperatur-wassergekühlte Abgasanlagen. Der Ofen wurde auch entworfen, um Kontaminationen zu minimieren, indem eine hocheffiziente Gaseinspritzanlage verwendet wird, die verhindert, dass Partikel, Tröpfchen und organische Rückstände in die beheizte Kammer gelangen. Das Modell bietet eine hocheffiziente Datenerfassung sowohl für die Prozessüberwachung als auch für die Steuerung. Dazu gehört eine Steuereinrichtung, die Ethernet-Kommunikationsschnittstellen enthält. Eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche ermöglicht es dem Benutzer, die Prozessparameter mit Leichtigkeit und Genauigkeit zu überwachen. Das System ist auch mit einer fortschrittlichen Roboter-Ausgabeeinheit kombiniert, die mit einer automatischen Wafer-Ausrichtungs-Funktion und einer Düsen-Vakuum-Maschine ausgestattet ist, um eine genaue Wafer-Platzierung zu gewährleisten. DJ-835V Werkzeug wurde entwickelt, um zuverlässige thermische Prozesse mit zuverlässigen und einheitlichen Ergebnissen zu ermöglichen.