Gebraucht KOKUSAI DJ-853 #155816 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 155816
Diffusion oxide furnaces
N2, O2, N2O, H2, HCL Process gas
Halpox Process
1999 vintage.
KOKUSAI DJ-853 ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen für die Herstellung empfindlicher Halbleiterbauelemente. Es ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu acht Zoll aufzunehmen und verfügt über einen praktischen Betriebstemperaturbereich von -20 ° C bis 1200 ° C. DJ-853 verfügt über eine einheitliche Prozesskammer mit undurchlässigen Aluminiumoxid-Linern, die mit einem Glockendeckel verschlossen ist. Eine aktive Hubeinrichtung sorgt für eine gleichmäßige Bewegung und die Heizungen sind präzise positioniert, um eine gleichmäßige Heizleistungsverteilung zu gewährleisten. Der Sättigungsdampfdruck von Stickstoff und Wasserstoff ist leicht zu kontrollieren, um eine ultra-niedrige pyrogene Atmosphäre zu schaffen. Die Heizung kann entweder durch manuelle Programmierung oder im Automatikmodus mit programmierbaren Parametern betrieben werden. Neben seinen Diffusionsfunktionen verfügt KOKUSAI DJ-853 auch über mehrere Sicherheitsmerkmale für einen erhöhten Anwenderschutz. Die Heizungen sind mit einem Bakelizer-System ausgelegt, das kleine keramische Isolierplatten mit niedriger Leistung verwendet, die Emissionen unterdrücken, um Benutzer vor Hochfrequenzstrahlung zu schützen. Ein großes, langlebiges Quarzfenster ermöglicht jederzeit eine einfache Betrachtung der Prozesskammer. Die Klemmen und der Glockendeckel sind aus robustem reinem Molybdän-Material gefertigt und mit einem Hochleistungs-Temperaturfühlkreis ausgestattet, um eine luftdichte Abdichtung zu gewährleisten. Das Bordnetz ist mit einer dynamischen Stromanpassung ausgestattet, die auch bei schwankenden Netzspannungen eine stabile Erwärmung gewährleistet. DJ-853 wird auch mit einem umfangreichen Zubehör zur Unterstützung seiner Diffusionsfunktionen geliefert. Dazu gehören vibrationsbeständige Arbeitsständer und Vorrichtungen, die eine Probenverschiebung verhindern; Wagenbefestigungssysteme zur Unterstützung von bis zu drei Öfen; eine Offline-Kühleinheit, die eine schnelle Kühlung vor dem Entladen gewährleistet; und eine Mehrofensteuerungsmaschine, die eine gleichzeitige Steuerung mehrerer Öfen ermöglicht. Darüber hinaus verfügt KOKUSAI DJ-853 über ein leistungsfähiges Softwarepaket mit intuitiver Bedienung, Datenanalyse und Werkzeugdiagnose zur umfassenden Analyse von Anwenderprozessen. Schließlich DJ 853 ist ein zuverlässiges in einer Prozession gehendes Thermalwerkzeug, das für das anspruchsvolle Halbleitergerät Produktionsanwendungen gut passend ist. Es bietet überlegene Diffusionsfunktionen, überlegene Sicherheitsfunktionen und eine umfassende Palette an Zubehör für mehr Benutzerfreundlichkeit.
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