Gebraucht KOKUSAI DJ-853 #293805539 zu verkaufen

KOKUSAI DJ-853 Diffusionsofen, produziert von KOKUSAI Electric Corporation, ist ein vollautomatischer Diffusionsofen mit einer 6-Zoll-quadratischen Kammer für die Herstellung von breiten Palette von Diffusionsprozessen geeignet. Die Ausrüstung ist auf Kosteneffizienz, Effizienz und einfache Bedienung ausgelegt und liefert hohe Qualität und zuverlässige Ergebnisse. Es verfügt über ein Hochtemperatur-Graphit-Waferboot, das von der Rückseite her beladen wird, sowie ein Graphit-Kapton-Trägermodul, das den Wafer bei Diffusionsprozessen hält. DJ-853 Diffusionsofen ist mit einem bandgetriebenen Ofenförderer ausgestattet, der die Wafer automatisch in den Ofenraum einführt. Die Temperaturregelung erfolgt über zwei Thermoelemente, eines innerhalb der Kammer und eines außen, die sowohl für den Siliziumwafer als auch für das Graphitwaferboot genaue und stabile Temperaturen bereitstellen. Zusätzlich liefert ein sekundäres Oxidationssystem für jeden Prozess genau den gewünschten Oxidationsgrad. Das Gerät verfügt über eine einseitige Heizfähigkeit, wo auf der Rückseite des Wafers ein einziger Graphitheizblock von 1,25 Zoll Breite verfügbar ist. Dieser Heizblock ist abnehmbar, ermöglicht eine Justierung der Ausrichtung und damit eine perfekte Gleichmäßigkeit über den gesamten Heizprozess. Darüber hinaus ist die Maschine sowohl für Niederdruck- (bis 0,5 Torr) als auch für Hochdruck- (bis 15 Torr) -Betrieb geeignet. Um eine maximale Wafer-zu-Wafer-Wiederholbarkeit zu erreichen, wird das Prozessgas gravimetrisch zugeführt. Zum Zwecke der Überwachung verfügt KOKUSAI DJ-853 Tool über ein erweitertes Monitoring-Asset, das ein 12-Zoll-LCD-Panel zur Anzeige des Prozessfortschritts und -status enthält. Das Modell umfasst ferner eine Abgasüberwachungseinrichtung, die eine Echtzeit-Prozessdatenverfolgung bietet, und ein Wafer-Check-System, um jederzeit die Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Zusätzlich steht eine integrierte Wärmeleitfähigkeitsüberwachungseinheit zur Verfügung, um Hinterschneidungen zu verhindern und die Optimierung auf Waferebene zu gewährleisten. Zusammenfassend ist DJ-853 Diffusionsofen eine vollautomatische, hochmoderne Maschine für hochpräzise Silizium-Wafer-Diffusionsprozesse. Das Tool umfasst fortschrittliche Überwachungssysteme, Hochtemperatur-Graphit-Wafer-Boot, genaue Prozess-Gas-Zufuhrmittel und einseitige einseitige Heizfähigkeit wurden entwickelt, um maximale Qualität und Genauigkeit zu gewährleisten. Die Kosteneffizienz und die einfache Bedienung machen es zu einer idealen Lösung für eine breite Palette von Photovoltaik-Geräten.