Gebraucht KOKUSAI DJ-853V #293648859 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293648859
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2022
Diffusion system, 8"
Controller
Quartz (Inner and outter back)
Insulation material box
Purge nozzle
2022 vintage.
KOKUSAI DJ-853V ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das entwickelt wurde, um ein genaues und effizientes Mittel zur Herstellung von Halbleiterbauelementen bereitzustellen. Das System besteht aus einer Haupteinheit, einem Stromversorgungskabel und einer Steuereinheit mit Touchscreen-Display. KOKUSAI DJ 853V hat eine Kammer von 8 „Durchmesser und kann Wafer bis zu 5“ verarbeiten. Die Kammer ist aus einem hochreinen Quarzrohr aufgebaut und mit einer speziellen gasdichten Dichtung abgedichtet. Dies gewährleistet eine effektive Temperaturgleichmäßigkeit und eine schnelle Ansprechzeit. Das Gerät ist in der Lage, Temperaturen bis 1250 ° C mit einer maximalen Heizrate von 500 ° C/Minute zu steuern. Die Maschine verfügt auch über ein Zweizonen-Temperaturregelwerkzeug mit unabhängiger Temperaturregelung von oben nach unten. Die Anlage verfügt auch über eine Vielzahl von Prozessoptionen, die eine effiziente und genaue Herstellung von Halbleiterbauelementen ermöglichen. Dazu gehören ein zweistufiges Sulisierungsverfahren, ein In-situ-Heizglühverfahren und ein Niederdruck-Schnellglühverfahren (RTA). Das Sulisierungsverfahren umfasst ein Schichttrennverfahren und ein differentales Diffusionsverfahren. Das In-situ-Heizglühen reduziert das thermische Budget des Bauteils. Mit dem Niederdruck-RTA-Verfahren kann die thermische Diffusion von Silizium während der Verarbeitung minimiert werden. DJ-853V umfasst auch eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen. Dazu gehören ein OTP-Modell (Over Temperature Protection), eine programmierbare Sicherheitssteuerung und eine Not-Aus-Taste. Die OTP-Ausrüstung überwacht den Systemtemperaturbereich, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Die programmierbare Sicherheitssteuerung überwacht die Betriebsparameter des Geräts, während der Not-Aus-Knopf es dem Benutzer ermöglicht, die Maschine im Notfall schnell abzuschalten. DJ 853V verfügt zudem über ein kompaktes und effizientes Design, das einen kleineren Platzbedarf im Labor ermöglicht. Das Tool verfügt auch über eine breite Palette von anpassbaren Funktionen, so dass der Benutzer das Asset an seine spezifischen Herstellungsanforderungen anpassen kann. Das Modell ist auch kompatibel mit einer Vielzahl von Zubehör, so dass es eine ideale Lösung für akademische und industrielle Umgebungen.
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