Gebraucht KOKUSAI / HIKE Vertex DD-803V #293592871 zu verkaufen

KOKUSAI/HIKE Vertex DD-803V ist ein industrieller Diffusionsofen und dazugehöriges Zubehör. Das speziell für den Einsatz in der Halbleiterindustrie konzipierte DD-803V dient der Bildung von Epitaxieschichten und der thermischen Oxidation von Wafern bei der Geräteherstellung. Es eignet sich gut für schnelles thermisches Glühen und schnelles Abkühlen. Das DD-803V ist auf Prozessreproduzierbarkeit und Zuverlässigkeit ausgelegt, mit einer maximalen Betriebstemperatur von 1.400 ° C und einer Schnellkühlrate von -5 ° C bis + 150 ° C pro Sekunde. Das integrierte Diffusionsheizelement verwendet einen Bornitrid (BN) -Keramikmantel auf Zementbasis mit einem Wolframheizelement. Diese Kombination bietet eine hervorragende thermische Gleichmäßigkeit, schnelle Heiz- und Kühlgeschwindigkeiten und eine verbesserte Gleichmäßigkeit des Waferprozesses. Der Ofen ist aus Edelstahl-Materialien, mit einer Isolierung Ausrüstung für maximale Temperaturstabilität. Die Vakuumkammer besteht aus 316/304 Edelstahl, mit einem optionalen pyrolytischen Bornitrid (PBN) -Liner zur reduzierten Partikelverunreinigung. Das DD-803V ist mit einem Prozessleitrechner und einer Mensch-Maschine-Schnittstelle (HMI) ausgestattet, um den Prozess zu verwalten und zu überwachen. Dieses hochmoderne System verfügt über die Überwachung der Kammertemperatur und des Drucks sowie der Daten der Prozesseinheit en Station. Das HMI umfasst eine Reihe von Schutzverriegelungen gegen Bedienfehler, anormalen Betriebszustand und hohe Ofentemperaturen. Das DD-803V umfasst auch eine Vielzahl von Nebenprodukten wie eine Auspuffmaschine, Griffladekasten, Prozesslastkassetten, Quarzboote und Pre-Ample-Prozessgeräte. Das gesamte Werkzeug ist für einfache Bedienung und Wartung ausgelegt. Insgesamt ermöglicht HIKE Vertex DD-803V Asset den genauen und wiederholbaren Prozess der Geräteherstellung. Mit einer austauschbaren Modellarchitektur und fortschrittlicher Prozesssteuerung ist das DD-803V ideal für die fortschrittliche Herstellung von Halbleiterbauelementen.