Gebraucht KOKUSAI Quixace II ALD High-k #9196072 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9196072
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Vertical LPCVD furnace, 12"
Process: CG DEP PROCESS (TaN)
Power rating: 480 AC, 3 Phase
(5) Loaders
System configuration:
Furnace unit:
Cartridge heater
(5) T/C for heater control
(5) T/C for over temperature protection
5-P T/C for cascade control
Thyristor unit for control
(4) Clean module units
Controller:
Main controller (OU)
Main operation unit
Sub operation unit
Process module controller
DDC Temperature controller
Gate drive unit
MFC/ Pressure unit
FOUP Loader controller unit
Wafer handling controller unit
Valve / Interlock control unit
Switching hub
Signal tower (Front)
(2) Gas flow pattern panels
EDA Controller
EDA Operation unit
Drive mechanisms:
I/O Shutter
AGV / PGV / OHT Stage
FOUP Loader
Rotation FOUP storage
FOUP Opener
(2) Wafer detections
Wafer transfer
Variable wafer pitch converter
Boat elevator
Boat changer
Furnace port shutter
Boat rotation
Wafer transfer crash detector
Gas system:
Gas unit (IGS)
Bottle heater
Stainless steel Ampoule with ultrasonic level sensor
4-PT Level sensor controller
Exhaust system:
Dry pump / Mechanical booster pump
Diaphragm sensor:
1000 Torr: 631C13TBEH
10 Torr: 631C11TBEH
10 Torr: 722B11TCE2FA
Main valve (VEC-SHA8-X0340)
Exhaust piping
Exhaust dilution line
Reactor tube press leak line
Back ground line
Jacket heater for exhaust pipe
Seal cap heater
Inlet flange heater
Reactor tube port heater
Safety:
Light curtain system
(2) OHT I/F Units
CIDRW Controller
(2) AMP Units
(2) CIDRW Headers
(2) Chemical filters
N2 Purge load lock system:
O2 Monitor / Detector
FOUP Opener: N2 Purge system
Loading area:
MFC
N2 Purge line
FOUP Opener: N2 Purge Line
Currently installed
2010 vintage.
KOKUSAI Quixace II ALD High-k ist ein hochmoderner Atomic Layer Deposition (ALD) Diffusionsofen, der für das Wachstum von dünnen Schichten mit Hochtemperatur und hochauflösender Prozesssteuerung verwendet werden kann. Es kombiniert benutzerfreundliche Funktionen wie eine hochpräzise Temperaturregeleinrichtung mit einer effizienten und zuverlässigen Quelle für Heißgas und einem stabilen Werkstückfutter. Ein besonderes Merkmal dieses Ofens ist sein zweistufiges Reaktantfördersystem, das die Lieferung großer Fraktionen von Reaktanden mit ausgezeichneter Genauigkeit ermöglicht. Die Reaktantenliefereinheit ist hochkonfigurierbar und kann an eine Reihe von Abscheideanwendungen angepasst werden, was dies zu einem unglaublich vielseitigen Gerät macht. Diese Maschine wird auch mit einer Reihe von Zubehör geliefert, um ihre Fähigkeiten weiter zu verbessern und sicherzustellen, dass sie den Anforderungen des Benutzers entspricht. Dazu gehört ein Gas-Flow-Tool zur präzisen Temperaturregelung sowie ein programmierbarer Logikcomputer, der eine individuelle Anpassung und stärkere Steuerung des ALD-Prozesses bei höheren Temperaturen ermöglicht. Der Ofen verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, einschließlich Druck- und Temperaturüberwachung sowie Übertemperaturabschaltung. Quixace II ALD High-k Diffusionsofen wurde entwickelt, um zuverlässig unter einer Reihe von Prozessbedingungen zu arbeiten, mit dem Fokus auf konsistente und präzise Ergebnisse zu liefern. Die Anlage wurde speziell entworfen, um eine Vielzahl von dielektrischen Materialien hoher K wie HfO2, ZrO2 und Al2O3 mit einer präzisen Schichtdicke-Gleichmäßigkeit genau abzuscheiden. Darüber hinaus ist KOKUSAI Quixace II ALD High-k in der Lage, den gesamten ALD-Prozess zu steuern und Inkongruenzen in der Oberfläche der abgeschiedenen Folie dank seines zweistufigen Reaktantenliefermodells zu vermeiden. Darüber hinaus trägt die gleichmäßige Wärmeverteilung dieses Geräts dazu bei, Reaktionszeiten zu reduzieren und eine zuverlässige Abscheiderate zu gewährleisten. Schließlich ist das System mit einer automatisierten Hardware-Diagnose ausgestattet, die den Anwendern sofortiges Feedback zu Prozessparametern gibt und es ihnen ermöglicht, ihre Prozesse zu optimieren und bei Bedarf Anpassungen vorzunehmen. Quixace II ALD High-k ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen, der eine vielseitige, benutzerfreundliche und zuverlässige Plattform für das Wachstum von dünnen Schichten bietet. Es ist mit einer Reihe von Funktionen und Zubehör wie einer zweistufigen Reaktantenliefereinheit, einer Gasströmungsmaschine und einem programmierbaren Logikcomputer ausgestattet, die alle helfen, konsistente und präzise Ergebnisse zu liefern. Dieses Gerät ist eine ideale Wahl für diejenigen, die große fraktionierte Abscheidungsprozesse auf höchstem Temperaturniveau durchführen möchten.
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