Gebraucht KOKUSAI Quixace II ALD Oxide #293600574 zu verkaufen

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ID: 293600574
Vertical furnace.
KOKUSAI Quixace II ALD Oxide ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör für die schnelle thermische Verarbeitung von Materialien für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Das System basiert auf einem Einwafer-Aluminiumoxid (Al2O3) -Reaktor, der eine Niedertemperaturoxidation und Glühung von Wafermaterialien ermöglicht. Es ist mit einem automatisierten Atmosphäre-Steuermodul und einer Hochtemperatur-Vorverdampfungskammer ausgestattet, die eine sehr zuverlässige In-situ-Prozesssteuerung über den gesamten Betrieb bietet. Der fortschrittliche ALD-Oxid-Diffusionsofen Quixace II verfügt über eine Präzisionstemperaturkontrolleinheit, die genaue und stabile thermische Prozessabläufe durch einen weiten Temperaturbereich ermöglicht. Die Temperatur kann mit einer hohen Genauigkeit eingestellt werden, was sehr reproduzierbare thermische Prozesse ergibt. Die Maschine ist für die Handhabung von bis zu 100 mm oder 200 mm Wafern ausgelegt und eignet sich somit ideal für großvolumige Anwendungen. KOKUSAI Quixace II ALD Oxid verfügt auch über ein Low-Flow-Vakuum-Werkzeug, das eine höhere Produktivität als herkömmliche Diffusionsöfen ermöglicht. Die Anlage ist mit einer Reihe von Sensoren, Energiequellen und Substrathaltern ausgestattet und bietet Flexibilität für eine Reihe von Anwendungen. Darüber hinaus ist das Modell mit einem erweiterten Layer Scanner ausgestattet, der die Dicke und kristalline Struktur der zu verarbeitenden Schicht überwacht. Quixace II ALD Oxid enthält auch einen Vakuumkrümmer, der einen geringeren Stromverbrauch und eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit ermöglicht. Diese Ausrüstung bietet auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie Temperatursensoren, Verriegelungen und Notabschaltung. KOKUSAI Quixace II ALD Oxid ist eine robuste und effiziente Plattform für die thermische Verarbeitung von Materialien und bietet ein hohes Maß an Prozesswiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und Sicherheit. Die erweiterten Funktionen des Systems ermöglichen es Benutzern, einen hohen Prozessdurchsatz und eine Optimierung zu erzielen, was zu einem verbesserten Ertrag führt.
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