Gebraucht KOKUSAI Quixace II NITRIDE #9182061 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9182061
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Vertical LPCVD furnace, 12"
Cartridge heater
Heater control
Over-temperature
Thyristor unit for control
I/O Shutter stage: AGV / PGV / OHT Stage
FOUP Loader
Rotation FOUP storage
FOUP Opener
Wafer detection
Wafer transfer
Variable wafer pitch converter
Boat elevator
Boat changer
Furnace port shutter
Boat rotation
AWTC Port
Flange-upper
Flange-lower
Quartz boat
Quartz outer tube
Quartz inner tube
Quartz adiabatic plate
Quartz boat fixing ring
Quartz nozzle 1: D4CN55589
Quartz nozzle 2: D4KN31319#D
Quartz boat fixing ring
Quartz boat
Quartz outer tube
Quartz inner tube
Quartz adiabatic plate
Quartz nozzle 1: D4CN55589
Quartz nozzle 2: D4KN31319#D
Quartz nozzle 3: D5CP15682
Quartz nozzle 4: D5CP15683
Quartz nozzle 5: D5CP15684
Quartz boat fixing ring
SiC Boat
Quartz outer tube
SiC inner tube
SiC adiabatic plate
Quartz nozzle 1
Quartz nozzle 2
Quartz boat fixing ring
Gas unit (IGS): D4VX38302
Tape heater:
Gas pipe 1: D4EX19130
Gas pipe 2: D4EX19131
Diffuser: D4CX33281
Mass flow controller: FC-PA785T-BW-TC Series
Filter: WGSLS Series
Regulator: PGM Series
Pressure gauge: ZT16-S01
Hand valve: MMGD5-11D-W Series
Check valve 1: MCGP5-F1X1 Series
Needle valve: MMGD5-11D-W Series
Air valve: MAGD5 Series
Connection & fittings: VCR / UPG / SWG
MFC 1: NH3, 0.5SLM
MFC 2: N2, 30SLM
MFC 3: SiH2Cl2, 0.2SLM
MFC 4: SiH2Cl2, 0.2SLM
MFC 5: SiH2Cl2, 0.2SLM
MFC 6: SiH2Cl2, 0.2SLM
MFC 7: NH3, 2SLM
MFC 8: NH3, 0.5SLM
MFC 9: NH3, 0.3SLM
MFC 10: NH3, 0.3SLM
MFC 11: NH3, 0.3SLM
MFC 12: NF3, 1SLM
Vacuum sensor (VG11): 1000 Torr
Vacuum sensor (VG12)
Vacuum sensor (VG13): 2 Torr
Vacuum sensor monitor
Main valve: VEC-SHA8-X0327
Exhaust piping: D4CX38671
Exhaust dilution line: D4CX38671
Reactor tube press leak line: D4CX38671
Jacket heater: 150° C
Exhaust pipe: 150° C
Process effluent trap: MKS
Baratron vacuum calibration port
Inlet flange heater: ESH-12964-01
(2) Injector port heaters:
ESH-12965-01
ESH-12966-01
Seal cap heater: ESH-12450-02
O2 Monitor / Detector
FOUP Opener system
N2 Purge system
Load area MFC
Loading area
Furnace port
Radiator
Filters:
Carbon / Chemical 1 filters
Carbon / Chemical 2 filters
Carbon / Chemical 3 filters
Main operation controller: SW Rev 01.05.05
EDA Controller: SW Rev 01.00.02
DDC Temperature controller: SW Rev 06.00.00
Process module controller: SW Rev 01.05.05
Wafer handling controller: SW Rev 02.04.06
(2) FOUP I/O
FOUP RFID Reader
Wafer mapping sensor: F3M-S1225
FOUP Sensor: E3T-ST11
SECS/GEM Communication: SW Rev 06.01.02
Includes:
Hazardous gases
Manual
Shut off valve
Lock out / Tag out
Electrical: Lock out / Tag out
Robot: Lock out / Tag out.
KOKUSAI Quixace II NITRID ist ein Diffusionsofen, der speziell für die Nitridverarbeitung entwickelt wurde. Es ist ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug für die Abscheidung von Nitridschichten sowie verschiedenen metallischen und anderen Materialien auf Substraten. Seine fortschrittliche Konstruktion und modulare Struktur bieten Anwendern mehr Flexibilität in ihren Produktionsprozessen. Die moderne Stickstoffeinspritzanlage des Ofens sorgt dafür, dass alle Nitridprozesse in der notwendigen kontrollierten Umgebung durchgeführt werden. Dieses System ist einstellbar und kann auf die jeweiligen Prozessanforderungen jedes Substrats zugeschnitten werden, was zu überlegener Nitridqualität und Zuverlässigkeit führt. Das Gerät bietet auch eine präzise Kontrolle der Diffusionstemperaturen und -zeiten, was wiederholbare und konsistente Ergebnisse ermöglicht. Die hohe Leistung des Ofens wird durch eine breite Palette an vielseitigem Zubehör ergänzt. Zu diesen gehören eine schnelle Pumpe-down-Maschine für schnellere Prozessstarts, eine Titling-Box-Kammer zum Hochtemperaturglühen und ein Deckel-Box-Ofen zur schnellen Kühlung. Das mitgelieferte automatisierte Gaskontrollwerkzeug bietet Anwendern die Möglichkeit, mehrere Gase für Nitrid-Prozesse vorzuprogrammieren. Quixace II NITRID verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, um eine sichere Umgebung zu erhalten. Dazu gehören ein Mehrpunkt-Alarmelement, ein Interlock-Diagnosemodell und eine Prozessüberwachungseinrichtung. Alle diese Systeme stellen sicher, dass der Benutzer die volle Kontrolle über den Ofen während der Abscheidungsprozesse behalten kann. KOKUSAI Quixace II NITRID Diffusionsofen ist ein fortschrittliches und zuverlässiges Werkzeug für die Nitridverarbeitung sowie eine Reihe anderer Materialien. Die Stickstoffeinspritzregelung, die breite Palette an Zubehör und die benutzerfreundliche Bedienung tragen dazu bei, dass es zu den effizientesten und zuverlässigsten Diffusionsöfen seiner Art gehört. Kombiniert mit den verfügbaren Sicherheitsmerkmalen ist es das perfekte Werkzeug für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen.
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