Gebraucht KOKUSAI Quixace II #9382771 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9382771
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2014
Vertical LPCVD furnace, 12"
Model name: DJ-1236-DF
Process: ALD SiO2
(2) Robotic FOUP loading stations
Precursors / Reagents / Catalyst: Pyridine, HCD, Water
Purge gas: Nitrogen
Cleaning gas: Nitrogen Tri-fluoride
DC Power supply: 24 VDC, ±15 VDC
(7) Boxes
Power box
Gas box
Source/Bubbler box
Bonnet
Heater
Refill stations
Tweezers
EDA Box and cover
Front end exhaust damper cover
Bridge includes SSR
Power cables included
Boat plates and screws
Heater upper doors
Water dead man panel
Manual
L/A Exhaust and elbow
Handy terminal
(5) Foreline cages
Gas box elbow
Foreline clamp box
Cable duct [L/A crossover]
Loose gas line and flex lines
RHC Exhaust duct and panels
BG Lines
RHC Metal flex duct
RHC Metal duct cover
Connecting duct
Tube flange
Exhaust pipe
Exhaust union
Injector heaters
RHC Damper packing
RHC Damper block
RHC Adiabatic blocks
Injector stand offs
TC Stand off
Flange clamp insulators
Heater insulators
(2) Fore line clamps
(2) Teflon cushions
Tweezers
Fore line clamp bolt
Teflon tube pins
Joint plate assembly
Axis fixing jig
Front body support jig
Utility support jig
Buffer rack support jig
Power sub-systems:
Vacuum gauges
Sensors
Compressed air valves
PLC I/O (Analog and digital)
Device net
Ethernet and MFC’s
Does not include:
Pump
Scrubber
Capacitance manometer
Precursor bottles or connecting lines
Missing parts:
QUARTZ Boat
Reactor
Adiabatic plate
Mounting nuts and bolts
Power supply:
480 VAC, 60 Hz, 300 A, 3 Phase
120 VAC, 60 Hz, 30 FA, Single phase
2014 vintage.
KOKUSAI Quixace II ist ein innovativer Hochleistungs-Diffusionsofen und eine als kostengünstige und zuverlässige Lösung für die professionelle Materialbearbeitung entwickelte Ausrüstung. Gebaut mit einem leistungsstarken und effizienten Motor, sorgt dieser hochwertige Ofen für eine schnelle und effiziente Wärmebearbeitung einer Vielzahl von Materialien. Die Edelstahlkonstruktion und das keramische Isoliersystem minimieren den Wärmeverlust unter Beibehaltung der Temperaturgenauigkeit und ermöglichen eine gleichmäßige Erwärmung von Substratmaterialien. Der Ofen wird komplett mit einer digitalen SPS und einem berührungsfreundlichen HMI geliefert, was eine benutzerfreundliche Bedienung und präzise Temperaturregelung ermöglicht. Die intuitive und leistungsstarke Steuereinheit ermöglicht eine individuelle Temperaturprogrammierung für verschiedene Materialien und ermöglicht gleichzeitig schnelle Anpassungen und eine genaue Überwachung der Einstellungen. Zusätzlich ist der Ofen mit einer Echtzeit-Fehlerschutzmaschine ausgestattet, die den Bediener bei erkannten anormalen Temperaturen oder Zuständen alarmiert. Das mitgelieferte Kühlwerkzeug ist auch hocheffizient und arbeitet mit einem eingebauten niedrigen und hohen Temperaturniveau, um das verarbeitete Material vor Schäden durch übermäßige Temperaturen zu schützen. Die speziell konzipierte Open-Air-Struktur reduziert auch die taupunktbedingte Korrosion der inneren Komponenten des Ofens erheblich. Darüber hinaus bietet KOKUSAI QUIXACE-II eine breite Palette von Zubehör, die leicht angebracht und entfernt werden können, so dass eine weitere Anpassung der Anlage. Die Kammer ist mit klaren Beobachtungsfenstern aufgebaut, mit Quarzglasmodellen für Anwendungen mit höchster Temperatur. Eine Vielzahl von Isolationskonfigurationen sind verfügbar, um verschiedene Operationen anzupassen, einschließlich niedriger thermischer Masse, hoher thermischer Masse und hoher Aluminiumoxidfaseroptionen. Weiteres Zubehör, wie Vier-Punkt-Sondengeschirr, Wasserstandserfassung und Kaltwasserreinigungseinheit sind ebenfalls verfügbar. Insgesamt ist Quixace II eine ideale Wahl für Profis, die nach einer leistungsstarken, zuverlässigen und wirtschaftlichen Diffusionsofenlösung suchen. Die effiziente Stromquelle, das intuitive Steuerungsmodell, die überlegene Kühlfähigkeit und das Zubehörprogramm machen es zu einer idealen Wahl für diejenigen, die maximale Effizienz und Zuverlässigkeit in der Verarbeitung von Materialien suchen.
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