Gebraucht KOKUSAI Quixace Ultimate ALD SiN #293666963 zu verkaufen

KOKUSAI Quixace Ultimate ALD SiN
ID: 293666963
Vertical diffusion furnace.
KOKUSAI Quixace Ultimate ALD SiN ist ein Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör, das das Dotieren von SiN-Folien für den Einsatz in fortgeschrittenen Anzeige- und Bildgebungsstrukturen erleichtert. Diese Anlage verfügt über eine Schicht aus Siliziumnitrid mit hoher Temperaturtoleranz und Gleichmäßigkeit für mehrere Dotierstoffdiffusionsprozesse. Es verfügt auch über eine Wärmequelle von 500 Watt, um eine optimale Erwärmung der Folienschicht zu gewährleisten. Dieser Diffusionsofen und das Zubehör sind für die schnelle, hochpräzise Diffusion von Kontaktschichten ausgelegt. Das fortschrittliche Design des Systems trägt zur Verringerung der Verunreinigungsdiffusion bei, die für die Aufrechterhaltung der elektrischen Eigenschaften der SiN-Schicht unerlässlich ist. Das Gerät bietet zudem eine präzise Temperaturregelung und schnelle Aufwärm- und Abkühlzyklen. Quixace Ultimate ALD SiN-Maschine ist für die Verwendung in Halbleiter-, Anzeige- und Bildgeberanwendungen konzipiert, die eine einheitliche Filmschicht mit ausgezeichneter Verschleiß- und Verschmutzungsbeständigkeit erfordern. Dieses Werkzeug bietet drei verschiedene Temperaturprofile, um die Genauigkeit des Dotierungsprozesses zu gewährleisten. Dies sind: Vorwärtsvorspannung, Rückwärtsvorspannung und erhöhte Temperatur. Das Vorspannungsprofil ermöglicht die schnellste Temperaturrampe für höchste Temperaturprozesse, während die Rückwärtsvorspannung eine erhöhte Kontrolle für die genaue Steuerung von Reagenzschichten für die Dotierstoffanwendung bietet. Das Merkmal der rampenförmigen Temperatur ermöglicht eine allmähliche Temperaturerhöhung, um Substratschäden zu vermeiden. KOKUSAI Quixace Ultimate ALD SiN bietet auch eine Vielzahl von Zubehör, um die Genauigkeit des Dopingprozesses zu verbessern und eine erfolgreiche Verarbeitung zu gewährleisten. Dazu gehören ein Druckmessgerät und Mikroheizgeräte zur präzisen Steuerung thermischer Gradienten und zur Verbesserung der Gleichmäßigkeit sowie das ALD-Diagnosetool zur quantitativen Analyse und Diagnose des Dotierstoffprofils. Schließlich ist Quixace Ultimate ALD SiN Asset auf niedrige Betriebskosten und einfache Bedienung ausgelegt. Ein Mehrkammerdesign ermöglicht die Verarbeitung mehrerer Wafer in einer einzigen oder Doppelkammer ohne Verwendung zusätzlicher Hardware. Eine einfach zu bedienende Oberfläche bietet Anwendern eine intuitive Benutzeroberfläche und Prozesssteuerung. KOKUSAI Quixace Ultimate ALD SiN-Modell ist eine bequeme und kostengünstige Alternative für die Dotierstoffverarbeitung von SiN-Filmen in einer Vielzahl von Halbleiter-, Anzeige- und Bildgebungsanwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor